光洋サーモシステム

天理市,  奈良県 
Japan
http://www.koyo-thermos.co.jp
  • 小間番号7109


SiC、GaN、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、VCSEL用、MEMS用熱処理装置を紹介。

SiCパワー半導体向け熱処理装置(活性化、酸窒化、コンタクトアニール)や、
GaNパワー半導体、IGBTパワー半導体向け熱処理装置、MEMS用熱処理装置までご紹介します。
また、最新パッケージ技術のFan-Out用(FO-PLP)装置、面発光レーザー(VCSEL)の低温Wet酸化処理における他社には出来ない温度性能をご紹介いたします。
また、当社では各種デモ機も保有しており、プロセステストにも対応していますので、お気軽にご相談ください。


 出展製品

  • 面発光レーザー(VCSEL)用縦型炉
    当社製LGOヒータ採用により、低温域の温度再現性、制御性が非常に優れており、低温WET酸化やアニールなど、面発光レーザー(VCSEL)製造工程に必要な熱処理プロセスに対応します。...

  • 当社製LGOヒータ採用にうより、低温域の温度再現性、制御性が非常に優れています。

    低温WET酸化やアニールなど、面発光レーザ(VCSEL)製造工程にう必要な熱処理プロセスに対応しております。