芝浦エレテック

横浜市栄区笠間,  神奈川県 
Japan
https://www.shibaura.co.jp/eletec/
  • 小間番号2024


「心と技術で未来をつくるサービス会社」をモットーとして、お客様と共に成長し、歩み続けられるように邁進いたします。

幅広い分野・業種の協力会社と連携し、芝浦エレテック独自のサービスを提供します。

<実機展示>

  • 生産設備のリアルタイムの状況を把握できるIoTサービスツール(キノシステム®を出展します。お客様のニーズに合わせたカスタマイズにも対応します。
  • 300mmウェーハを自在に回転・傾斜させ、上部から光を当てることで、ウェーハ表面のキズを目視する「⽬視外観検査⽤ステージ」を出展します。
  • 300mmウェーハの位置決め、およびノッチ合わせを高精度に行う「ウェーハ⽤アライナ」を出展します。
  • 従来のマスフローコントローラの機能・性能を大幅に改善・向上させた「ガスフローコントローラ」を出展します。これまでの流量制御のイメージが大きく変わります。ぜひ一度、機能の詳細を、現物を見てお試しください。

<モニタ展示>

  • 装置間ネットワークデータ統合による設備情報の可視化と生産性・効率化向上ソリューション「マルチインフォメーションシステム」を展示します。お客様のニーズに合わせた完全オリジナルのソリューションです。


 出展製品

  • ウェーハ用アライナ Model ALV2
    300mmウェーハの位置決め、およびノッチ合わせを高精度に行うユニットです。 各種半導体製造装置、またはウェーハ検査装置の「カセット収納時のノッチ合わせ」や、「ウェーハID読み取り用の位置決め」などでご使用いただけます。...

  • 項目        内容

    対象ウェーハ    300mmシリコンウェーハノッチ仕様

    エッジグリップ方式 ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック

    ウェーハ接触部   ポリイミド樹脂を使用(オプションでPEEK材に変更可)

    制御方式      シリアル通信(RS232C)(オプションでRS422に変更可)

    アッパーチャック  開閉機構  ストローク1mm

    アッパーチャック  回転機構  回転角360°∞ 分解能0.12°

    ロアーチャック   回転機構  回転角Max15° 分解能0.12°

    ロアーチャック   上下機構  ストロークMax33mm 分解能0.005mm

    センサ       ノッチ検出センサ(スポット径Φ1mm)在荷センサ

    電源        DC24V , Max10A

    質量        本体20kg , コントローラ6kg

  • 目視外観検査用ステージ Model VIS2
    300mmウェーハの目視検査用ステージユニットです。 ウェーハのエッジをグリップし、自由自在に目視ができます。...

  • 項目        内容

    エッジグリップ方式 ウェーハエッジをチャック開閉機構によりメカニカルチャック

    ウェーハ接触部   ポリイミド樹脂を使用 (オプションでPEEK材に変更可)

    自転機構      回転角360°∞ 分解能0.024°

    傾斜機構      傾斜角±20° 分解能0.012°

    旋回機構      旋回角±90° 分解能0.033°

    制御方法      手動 スイッチ、ジョイスティックを操作

    自動        上位よりシリアル通信制御

    電源        AC100V,240W

    質量        30kg以下

  • IoTサービスツール キノシステム®
    号機間の差異を見える化! トレーサビリティ活用で稼働率UP! 装置・設備のトラブル原因解明や安定稼働に! 芝浦エレテックのIoTサービスツール キノシステム®でお客様のご要望をフレキシブルに対応いたします。...

  • キノシステム®は、「直感性」と「拡張性」をもち、「スムーズな導入」が可能です。

    当社の豊富な製造・リノベーション・メンテナンスの経験と知見から、生産・製造管理をバックアップいたします。

    本展示会出展品の『XiNOデータロガー』は、リファレンスとの比較機能に重点を置いた製品です。

    その他のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現可能です。

    半導体工場様向けのカスタム事例のご紹介もおこなっております。

  • IoTサービスツール マルチインフォーメーションシステム
    「見えない」生産現場を “見える”生産現場に! ~ 設備情報の可視化と生産性・効率化向上ソリューション ~ マルチインフォーメーションシステムは、工場内の様々な情報を統合し、生産現場にあった情報を、必要な人に受け取りやすいカタチで迅速にお届けします。...

  • マルチインフォーメーションシステムは、比較的安価に、実運用まで短期間で「見える化」を実現いたします。

    「見える化」する対象の装置・設備は問いません。

    既設設備に搭載されているコントローラに、弊社ゲートウェイを中継して接続し、ゲートウェイ機器間でネットワークを構成します。

    設備側コントローラはこのネットワークからは除外されていますので、不用意なアクセスで発生するトラブルで生産を妨げたりするリスクを軽減できます。

    マルチモニターの設置場所、ご覧になる方の所属部署・ご担当により、画面表示に必要な情報は異なると思われます。

    マルチインフォーメーションシステムでは、様々な表示方法に対応いたします。

    まずはお持ちのイメージをお聞かせください。

    最適な情報を必要な所に表示し、”見える化” に「気づき」をプラスして、生産性の向上にお役立ていただけます。

  • ガスフローコントローラ(Gas Flow Controller : GFC)
    従来のマスフローコントローラ(MFC)の機能・性能を大幅に改善・向上させたガスフローコントローラ(GFC)です。...

  • 従来のマスフローコントローラの課題

    • デポガス、腐食ガス(Cl2, SiH4等)による目詰まりや0点ずれを防ぎたい
    • マスフローコントローラのリークをなくしたい
    • より精度の高い流量制御を達成したい
    • マスフローコントローラで0.025sccmを制御したい
    • マスフローコントローラの応答性を改善したい
    • ガスを高速に切り替えるプロセスへ対応したい
    • 上流側圧、下流側圧の変動によるプロセス影響を改善したい
    • ガス流量問題発生時、プロセス装置側、マスフローコントローラ側か原因を切り分けたい
    • マスフローコントローラの機差を改善したい
    • プロセス装置のガスラインを増やしたい
    • マスフローコントローラの在庫数を減らしたい      etc.

    ガスフローコントローラで課題を解決!

    • 広範囲な流量レンジ

         ⇒ Full Scale 0.5~100%

    • 高精度な流量制御

         ⇒ Set Point +/-0.5%

    • 高速な応答性(立ち上り/立ち下り速度)

         ⇒ ≦100ms@10-100% Full Scale

         ⇒ ≦300ms@0.5-10% Full Scale

    • 圧力/温度変動の影響を受けない

         ⇒ キャリブレーション不要

    • リアルタイムモニタリング機能

         ⇒ 30種以上の内部情報をリアルタイムでモニタリングし、

          情報のアウトプット、自己診断機能搭載