日本レーザー

新宿区,  東京都 
Japan
https://www.japanlaser.co.jp
  • 小間番号2138


半導体プロセス制御用温度センサ、非接触変位センサ、多彩なモーションコントロール製品のほか、本年は新たに欠陥検査装置が充実

半導体プロセス制御に最適な温度センサ、位置センサのほか、高い精度と実績を誇る電動ステージ、ナノポジショニング装置などのモーションコントロール製品、除振台、ユニークで高品質な各種光学部品をご紹介します。本年は新たに欠陥検査装置、AFMといった測定器も出展いたします。

インライン加工、高精度な評価、信頼性の高い品質管理まで、広くサポートする日本レーザーブースへ是非お立ち寄りください。

《注目製品》半導体プロセス制御用 光ファイバ式温度センサ

《新製品》attocube社 超高真空・非磁性・極低温対応 ナノポジショニング装置
《新製品》attocube社 ピコオーダ・超高速・長作動距離 レーザー干渉式センサ

《新製品》CSInstruments社 ナノオブザーバーAFM 使いやすさを追求した多用途・高性能な汎用機

《新製品》Lumina Instruments社 高速測定レーザスキャニング 大型基板欠陥検査装置

《実機デモ》Newport社製 モーションコントロール関連製品(レーザー加工用高性能ステージ、電動ディレイライン、XYZ θ駆動ステージ、Picomotor 高精度アクチュエータ、高分解能 小型ステージ、セラミックステージ、ヘキサポッド、ゴニオステージ、特注ステージ等)

Newport社製 除振台&光学テーブル、光学部品(オプトメカニクス、オプティクス等)


 出展製品

  • 光ファイバ式温度センサ
    高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献します。電磁波による影響を受けずに幅広い温度範囲で計測が可能です。...

    • 優れた精度、分解能、および長期安定性
    • 電磁波による干渉、迷光、および厳しい化学環境に対する不感受性
    • 幅広い温度範囲
    • 固体、液体、気体の温度を測定可能
    • 遠距離における測定にも対応

    Photon Controlの高精度蛍光式光ファイバ温度センサは、過酷な環境でも高い精度と再現性、長期にわたる安定性を保つように設計されています。強力な電磁場からの干渉に耐性があり、プラズマエッチングおよびプラズマCVDにおける高精度温度モニタリング用途に理想的です。プロセスチャンバ内の静電チャックやエッジリングなど、プロセスの均一性に影響するコンポーネントの温度を測定できます。エッチングチャンバ内の静電チャックに対して複数の加熱ゾーンを測定するなどの用途に使用され、最先端の半導体製造に必要な温度制御および均一性実現を可能にします。

  • ナノ位置決めステージ&レーザー干渉式変位センサ
    attocube社のナノポジショナーと干渉式変位センサは、いずれもクリーンルーム環境で使用でき、高真空や高温などの極限環境にも対応しています。 ビームシェーピング用のアパーチャやミラーの移動には、ピエゾ駆動ナノポジショナーが最適です。ウェハ、ウェハマスク、ウェハチャックに必要な最高のモーション精度を提供します。 干渉式変位センサは、光学材料を非接触で直接測定する品質管理計測系における中心的要素として使用されています。ガラスなどの光学材料上を非接触測定でき、ウェハやマスク品質に好適です。...

  • ナノ位置決めステージ

    高精度ピエゾ駆動モータおよび位置決め製品。超高真空・非磁性・極低温対応。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適です。

    レーザー干渉式センサ

    ファブリーペロー干渉計に基づいたセンサで、さまざまな材料や形状に対してピコオーダ精度、数ミリメートルから数メートルまでの広い作動距離を達成しています。特許取得済みのファイバーベース技術で、モジュール式のセットアップと非常にコンパクトなセンサヘッドが特長。多様な材質や極端環境(超高真空、極低温、高磁場)にも対応できます。

  • Nano-Observer ナノオブザーバーAFM
    Nano Observer は多用途・高性能AFMです。使いやすさを追求した汎用機なため、AFM初心者の方であっても、最先端のAFM測定技術を、まるで10年以上のAFM経験者のような素晴らしいデータを取得できます。 スキャナ一体型のAFMヘッドは、コンパクトで高分解能。スキャナはフレクチャーステージを採用し、XYZ軸のクロストークがありません。特に、高性能ロックインアンプを搭載したコントローラーは、位相モード、ピエゾレスポンスモードで比類ないイメージング品質の向上をもたらします。...

  • 多種の測定モード・環境制御に優れた高性能の原子間力顕微鏡

    • HD-KFM 高精細ケルビンフォース顕微鏡等の特殊測定モード
    • 一般的なAFM測定モードを網羅
    • ダイナミックレンジ10桁の電流増幅器 ResiScope レジスコープ
    • サイドビューとトップビューカメラによる容易な位置決め
    • 簡単な操作性とソフトウェア
    • 三軸独立の高精度スキャナー<100µm
    • 温度制御と環境制御
    • TERS / SNOM等 光学アクセス仕様あり

    使いやすさを追求した汎用・多用途なAFMです。
    AFM初心者の方であっても、いきなり高度な測定モードを訓練なしで実施でき、高度な測定モードを使いこなせます。一方AFM上級者の方にも満足いただける、高性能なAFMです。Nano Observerは、最高の空間分解能で、トポグラフィだけでなく様々な表面物性を取得できる機能を持っています。Nano Observerはこれまで時間のかかっていたAFMの測定条件調整の手間を、圧倒的に簡素化し、実験の時短にも貢献します。

  • 高速測定レーザスキャニング欠陥検査装置
    基板全面のエリアを対象として、膜厚サブナノメートルオーダーのフィルム欠陥をイメージングできます。わずか30秒で50mm x 50mmの基板の測定およびデータ表示まで行う高速測定が可能。検査対象は、透明膜、シリコン、化合物、金属基板で、非円形や壊れやすいサンプルにも対応します。透明な基板については表面・裏面の同時観察、かつ表裏の分離が可能です。システムは耐振動性です。...

  • 最大走査範囲 300 x 300mm、最大サンプル厚さ 10mmの大型基板欠陥検査装置

    導入例や測定サンプルイメージは こちらをクリック してご覧ください。

  • Newport モーションコントロール製品
    ニューポート社は、位置決め装置(モーションコントロール)の精密機械設計と製造に50年にわたって携わり、その豊かな経験と専門性を背景に、非常に多彩なラインナップを展開しています。...

  • Newport社はモーションコントロール製品について、標準製品や用途に合わせた特殊製品、OEMソリューションから部品組立品、入念に設計されたシステム、特別仕様のOEM技術プラットフォームまで、非常に広範囲の高精度位置決め製品とソリューションの製品ラインを持っています。
    直進ステージ、回転ステージ、アクチュエータ、制御機器など広範な製品を販売しています。これらの高度に設計された製品は、研究や産業エンドユーザの要求に応えて設計されており、またそのままOEMアプリケーションのソリューションにもなります。
    Newport社は業界最高の品質を誇り、お客様の要求に応じて、特注ソリューションを製作できます。

    多彩な製品ラインナップ

    • リニアステージ
    • 回転&傾斜ステージ
    • アライメントステージ
    • アクチュエータ&調整スクリュー
    • ヘキサポッド
    • コントローラ&ドライバ
    • 加工・計測向け 電動ステージ/制御
    • 電動光学マウント
    • 測定機器
    • システム