東京インスツルメンツ

  • 小間番号5243


欠陥検査用高分解能カソードルミネッセンス

出展社概要

東京インスツルメンツについて

東京インスツルメンツは、研究グレードのツールと時間分解またはウェハ測定ツールとして利用可能な唯一の定量的CLシステムのメーカーであるAttolight社の正規代理店です。

Attolight社について

Attolight社は、ナノメートルスケールのマッピング解像度と組み合わせて表面下の欠陥を検出するために、高解像度のカソードルミネッセンス顕微鏡を構築します。III-V製造、研究開発、および故障解析で欠陥を検出するアプリケーションを保有しています。

IoT、ビッグデータ、クリーンテックは、半導体材料とデバイスのパフォーマンスと革新に大きく依存しています。開発および生産中に品質管理を行い、パフォーマンスの向上とイノベーションの加速を支援します。

市場

  • 発光ダイオード(LED)
  • ディスプレイ:特殊LEDおよびµLED構造
  • 電力および無線周波数デバイス(GaN、SiC)
  • フォトニクス
  • 材料の特性評価

用途

  • 欠陥の検出と特性評価
  • 組成計測
  • ドーピング計測
  • 故障解析
  • ナノ構造の特性評価
  • キャリアダイナミクス(ピコ秒時間解決CL)およびダイナミックSEM


 出展製品

  • 半導体ウエハカソードルミネッセンス顕微鏡システム Säntis300
    半導体をウエハのまま測定、超高感度・超高速、フィードバック時間の劇的改善が可能なカソードルミネッセンス顕微鏡システムです。...

  • 製品について

    SEMとカソードルミネッセンス(CL)光学系を完全一体化した世界唯一のAttolight社製 超高感度カソードルミネッセンス顕微鏡システムの半導体ウエハ(GaN, SiCなど)対応モデルです。基本モデルの特長を受け継ぎ、面倒な光学調整は一切不要、歪のない広い観測視野、高速スペクトルマッピングを実現し、ウエハをカットすることなくウエハの分析が可能です。SEM像とCL像の同時取得ができ、小さなウエハから300mmウエハまで対応。半導体デバイスの製造工程において、ウエハレベルでの評価を可能にしフィードバック時間を数日から数分へ劇的に改善します。


    半導体ウエハの分析

    150 mmウエハの全領域から局所分析まで1台で対応!
    300mmウエハにも対応。

    半導体ウエハの分析

    資料はこちらからご覧いただけます。
    製品詳細・お問合せはこちらまで。

     

    Compound Semiconductor掲載!

    同製品が化合物半導体の専門誌Compound Semiconductor(Volume 24 Issue 5)の表紙を飾り、特集記事が掲載されました。
    下記より無料ダウンロードが可能ですので、ぜひご覧下さい。

  • 超解像イメージング顕微鏡 NANORO
    フルカラー、~50nm分解能の超解像イメージングが可能な超解像顕微鏡...

  • 製品概要

    LIGNANOWAISE社の「超解像イメージング顕微鏡 NANORO」は 400倍の対物レンズ(SMAL)を内蔵することにより、 フルカラーで50nmの分解能を達成した世界で初めての超解像イメージング顕微鏡です。 スキャン範囲は、分解能1nm時、最大200μm×200μmまで非破壊で測定が行えます。 また、標準対物レンズと400倍の対物レンズ(SMAL)との切り替え測定も行えます。 尚、使用するにあたり、特別なトレーニングは必要なく、簡単な操作ですぐに測定可能です。 半導体、グラフェン等の材料観察の用途に最適です。

    特長

    • 回折限界を越える分解能
    • 世界初! 400倍対物レンズ(SMAL *)採用
    • 標準対物レンズとSMALとの切替観察可能
    • 非破壊測定
    • 簡単操作、特別なトレーニング不要
    • 半導体、グラフェン等の材料観察に最適

    * SMAL : Super-resolution Microsphere Amplifying Lens

     

    測定データ

    半導体イメージング 明視野観察との比較

    明視野観察(100倍oil対物レンズ) NANORO(SMAL):20×20μmスキャン
    明視野観察(100倍oil対物レンズ) NANORO(SMAL):20×20μmスキャン
     

    半導体イメージング 50nm分解能

    明視野観察(100倍oil対物レンズ)、SEM、NANORO(SMAL)

    左の図から明視野観察(100倍oil対物レンズ)、SEM、NANORO(SMAL)

     

    グラフェンイメージング

    グラフェンイメージング

    外側:明視野観察(100倍oil対物レンズ) 内側:NANORO(SMAL)

     

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