ハーモテック

甲府市住吉,  山梨県 
Japan
http://www.harmotec.com
  • 小間番号2126

薄物・特殊ウェーハ(極薄・反り・歪み)搬送に関して20年以上の歴史と多くの実績により、顧客の問題解決にお役立ちします。

・新しく開発された薄型KUMADEの展示

  新開発のUTシリーズは、消費流量の効率化により、従来品より更に薄型化が可能となり、カセットアクセスカセットへの挿入クリアランスが向上します。

・ウェットKUMADEの展示

  ウェットシリーズは水中及び大気中でのウェット非接触搬送を可能にしました。

・搬送装置

  数多くのウェーハ移載機・梱包機(2~12インチ)、ウェーハドライクリーニング装置、ウェーハマクロ検査装置を展示します。

・薄ウェーハ検査ステージ用KUMADEの展示

  薄く反りあがったウェーハを平坦に強制し保持する、検査ステージ用に開発いたしました。