東京応化工業

川崎市中原区,  神奈川県 
Japan
https://www.tok.co.jp/
  • 小間番号7921

東京応化は、常にM&E(電子材料と製造装置)の両面から開発を進め、高付加価値化の実現を目指し、半導体前工程用に使用する電子材料(次世代リソグラフィ用レジスト・レジスト付属薬品等)、BUMP & MEMS等厚膜をターゲットとした後工程用製造装置・電子材料を製品化しております。

次世代リソグラフィ用レジストは、ArF液浸用レジスト、EB用レジスト及びEUV用レジストを展示。また、高解像対応はもとよりポジレジストやネガレジスト、厚膜のニーズに対応したi線、KrFレジストや各種付属薬品について製品を取り揃えております。

パッケージ用フォトレジストとしては、ピラー形成、再配線形成を主目的として高膜厚・高解像、高感度、高剥離性を有したポジ型レジストを展示。MEMS用途として、構造物やマイクロ流路形成を主目的とした感光性永久膜、感光性接着剤を展示しております。

半導体プロセスのキープロセスで使用するコーター・デベ・アッシャー・エッチャー・UVキュア装置を各ウエハサイズに対応し取り揃えております。また、3D, 2.5D及びファンナウトプロセスで使用される仮貼付け及び剥がしの装置及び材料も商品化しております。