浜松ホトニクス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.hamamatsu.com
  • 小間番号2160

多層/積層やインラインでの膜厚計測にお困りの方に、非接触で高速の膜厚計を提案します。

弊社のOpticalGaugeシリーズは、デフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。

会場では、In-situ測定をイメージさせる透明箱中のウエーハサンプルを外部から高精度で膜厚測定するデモを行います。