浜松ホトニクス

浜松市東区常光町,  静岡県 
Japan
http://www.hamamatsu.com
  • 小間番号2160


浜松ホトニクスは、光の技術集団として、光の基礎研究と各種光関連製品の開発・製造・販売を行っています。

多層/積層やインラインでの膜厚計測にお困りの方に、非接触で高速の膜厚計を提案します。

弊社のOpticalGaugeシリーズは、デフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。

会場では、In-situ測定をイメージさせる透明箱中のウエーハサンプルを外部から高精度で膜厚測定するデモを行います。


 出展製品

  • 静電気除去装置 フォトイオナイザ
    X線の電離作用を利用し大気中の原子/分子をイオン化する軟X線式イオナイザです。広範囲を短時間に除電可能です。...

  • 従来のコロナ放電式の静電気除去装置は、放電現象によりイオンを生成し、生成したイオンを送風で送ることで静電気を除去していましたが、フォトイオナイザはX線を照射することで大気を直接イオン化して静電気を除去します。

    それにより、「0V除電」「送風が不要」「塵・電磁ノイズの発生なし」「メンテナンスフリー」「特殊環境下(不活性ガス・ドライエア等)にも対応」を実現します。

    また、コンパクトな形状ですので、製造工程に合わせて自由自在に設置することが可能です。

  • 静電気除去装置 VUVイオナイザ
    真空紫外光(VUV光)を利用し真空中の残留原子/分子をイオン化する紫外線式イオナイザです。従来困難であった真空中での効率の良い除電を可能にしました。...

  • 従来の静電気除去装置は、そのイオン化及び除電方法より真空中での除電が今まで不可能でしたが、VUV イオナイザは真空紫外線を照射することで真空中の残留分子をイオン化して静電気を除去します。

    0V除電」「送風が不要」「塵・電磁ノイズの発生なし」「メンテナンスフリー」を実現します。

  • Optical NanoGauge 膜厚計
    分光干渉法を利用した非接触の膜厚測定装置です。シーケンサ接続や膜厚と色の同時計測機能に加え、装置組み込みを容易にするために、従来製品に比べ小型化を実現しました。...

  • Optical Gaugeシリーズでは最 も薄い10 nmの極薄膜測定に対応することができます。また、10 nm~100 μmと幅広い膜厚測定範囲の対象に適応します。さらに、最速200 Hzの高速測定も可能なため、高速ラインでの測定にも対応することができます。
  • InGaAsラインスキャンカメラ
    近赤外領域に高い感度を有し、リアルタイムでのインライン非破壊検査に対応した近赤外カメラです。...

  • エリアカメラでは対応が困難であったパッケージ内の液量・容量など入味検査、農産物キズ・異物検出など、コンベアなどで搬送される対象物の検査、半導体デバイスの高解像度検査、太陽電池等半導体材料の欠陥検査などに高感度かつリアルタイムで対応します。
  • プラズマプロセスモニタ
    半導体製造工程の中でプラズマを使用するエッチング、スパッタ、CVD等において、プロセス中のプラズマ発光を広帯域にリアルタイムで検出する装置です。...

  • 各種解析機能により、「エッチングやクリーニングの終点判定条件設定や自動判定」、「プラズマ種推定」、「混入不純物や異常放電の監視」等に利用できます。