P.R.A.

松戸市,  千葉県 
Japan
http://www.pra.jp/
  • 小間番号5456

PRAでは、COMDEL社製、RF電源に加えて、以下の自社開発品の展示を行います。
① PRA 1.5 
      300mm PVD装置用 1.5KV ESC電源
② PMU2-1 
      PRA製マッチングネットワーク (13.56MHz, 5KW)
③ 位相シフター
      クローズドループ方式 13.56MHz RF位相シフター
      オープンループ方式 13.56MHz RF位相シフター