ブルカー・ジャパン

中央区新川,  東京都 
Japan
http://www.bruker-jp.com
  • 小間番号4166

ブルカーナノ表面計測事業部では

ブルカーの業界最速AFM(原子間力顕微鏡)を搭載した全自動型AFM、Etch機能搭載のCMP装置など各種半導体向けに特化した全自動型の表面形状計測装置をラインナップ。また、X線を利用した半導体ウェーハ検査装置7300シリーズはパターン内の高速な組成・膜厚測定、バンプの膜厚・組成測定、TXRFによる金属汚染モニタが行えます。JV-QC Veloxは化合物半導体エピタキシャル薄膜の生産管理において、これまでにない省力化と高スループットを提供します。JV-QC TTはX線回折イメージングによる高速ウエハ欠陥検査装置であり、パワー半導体SiC基板の欠陥検査に最適です。

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