写真化学

草津市,  滋賀県 
Japan
https://www.shashin-kagaku.co.jp/skp/solution/
  • 小間番号2315


クリエイティブでイノベーティブな風土から流行りすたりに動じない新しい価値やアイデアをお客さまへお届けします。

透明多層膜の各層の膜厚を高速・高精度に測定できる反射分光式膜厚計を出展します。

薄膜の全数検査や真のイン・サイチュ測定を可能にします。

ファイバー式膜厚モニタ

ファイバー式膜厚モニタは、小型反射プローブを採用し、プロセス装置内への組み込みが容易です。また、オプションで無線対応、透過測定、自動マッピング測定に対応しています。薄膜の全面検査や、プロセス中の終点検出センサとして使用可能です。

イメージング膜厚モニタ

イメージング膜厚モニタは、顕微画像分光式による膜厚モニタで、1ミクロン以下の微細なパターン上の膜厚分布を3D可視化することが可能です。半導体の実デバイス上の複雑な多層構造の測定が可能です。ダイ内の特定領域内の膜厚・膜質分布を管理可能で、高精度な欠陥検査装置としても利用可能です。また、Imaging OCD ( Optical Critical Dimension ) や AOI としての応用も可能です。


 プレスリリース


 出展製品

  • ファイバー式膜厚モニタ
    光干渉法を用いた、多層膜測定可能な小型プローブの膜厚モニタです。 メンテナンス性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。 例えば、成膜,研磨,エッチングプロセス中のインラインモニタやエンドポイントモニタ(終点検出センサ)として使え、膜厚のリアルタイムモニタリング(実時間監視)が可能です。 また、ポリシリコンの結晶性評価やポーラス膜の密度評価としても適用可能です。 またオプションとして、無線動作、透過率測定、自動マッピング測定に対応しています。 ...

  • 小型ファイバープローブ

      高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。
      また、プローブから本体へは光ファイバのみにて接続しているため、耐環境性に優れます。

    2.膜厚測定再現性 0.1nm以下(3σ)

    3.多層膜同時測定 9層対応

    4.膜質解析機能

      ・有効媒質近似(EMA)法による混合層の混合率算出、結晶性判定
      ・光学定数解析

    5.目的によって選べる光源

      ・白色LED

      ・タングステンハロゲンランプ

      ・重水素ハロゲンランプ

    6.無線動作(オプション)

       データはWi-Fiで受取り、電源はリチウムイオンバッテリで供給します。

    7.透過率測定(オプション)

       赤外吸収法による半透明シート・基板の厚さ測定も対応可能です。

    8.自動マッピング測定(オプション)

       最大450mmウェハまで対応可能です。

  • イメージング膜厚モニタ
    顕微画像分光法による、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる膜厚モニタです。 光干渉法により膜厚を計算しているため、0.1nm以下の分解能で膜厚分布を3D表示可能です。顕微鏡部のみを分離でき、他の機器内に組み込み可能です。 また、Imaging OCD(Optical Critical Dimension)やAOI ( Automated Optical Inspection) としての応用も可能です。...

  • 1.膜厚分布をその場で可視化

       ・顕微鏡視野内の任意領域の膜厚・膜質分布を測定し、分布を3D表示

    2.膜厚測定分解能 0.1nm以下

       ・可視波長光干式膜厚計と同等の分解能

       ・450nmから750nmの波長範囲を1nm単位で指定可能

    3.高速・多層膜同時測定 9層対応

       ・ファイバー式膜厚モニタと同じ計算エンジンを使用し並列演算

       ・応用対象例

         ・数百層の繰り返し積層構造膜,トレンチ構造などの複合多層膜

         ・EMA(有効媒質近似)法によるサブミクロン配線のパターン密度推定

         ・局所的な結晶性評価

    4.対物レンズと領域指定による任意領域の膜厚分布測定

       ・低倍の対物レンズを使用して5mm□以上の領域測定

       ・高倍の対物レンズを使用して1um以下の空間分解能で測定