マーポス

大田区,  東京都 
Japan
https://www.marposs.com
  • 小間番号4265

マーポスは加工中および加工後にワークショップ環境で使用できる高精度計測装置を世界的に提供しています。

半導体製造プロセスの信頼性と性能の向上に関係する各OEMからの信頼を得ており、半導体産業専用アプリケーションの研究と販売を行っています。

ブースでは当社の非接触測定器を主に展示します。


 出展製品

  • NCG 非接触式インプロセスコントローラ
    マーポスNCGは、光干渉テクノロジーによる厚さ測定器です。連続する光波がワークの接合面で反射し戻された干渉により層の厚さを計算し計測します。...

  • 測定原理:光干渉型

    測定範囲:25~1,200µm (ガラス材)

    測定範囲:10~500µm (シリコン材)

    精度:0.5µm (シリコンウェハーでの標準偏差)

    繰り返し精度:0.1µm

  • AEROEL レーザー式外径測定ゲージ
    SUPER-WIRELAB.XYは、引抜成形品や押出成形品の直径を検査するために設計された高性能のレーザーマイクロメータです。 ワイヤー、光ファイバーおよびマグネットワイヤー等の引き出されたワイヤーの外径測定に理想的な装置です。...

  • 測定範囲:0.02~3mm

    レーザー源:VLD λ=650mm

    分解能(µm):10 / 1.0 / 0.1 / 0.01

    直線性(F.R.):±1.0 µm

    繰り返し精度:±0.02 µm

    重量:6.5 Kg

  • STIL DUO 非接触測定機
    可視光の波長変化を利用した、共焦点法と干渉法の2つの技術を持ち合わせてた非接触測定機です。面相度や多層構造の厚さ測定などが可能です。...

  • 測定原理:光干渉、光共焦点

    厚さ測定範囲:0.4-90㎛

    測定精度:10nm