マグネスケール

伊勢原市,  神奈川県 
Japan
http://www.mgscale.com
  • 小間番号4234

半導体・液晶の次世代装置へ向けたレーザスケールの提案

 EUVやX線、電子ムービなど、次世代の半導体・液晶製造・検査装置のトレンドは真空・非磁性。マグネスケールはアウトガスや非磁性対策のレーザスケールで次世代装置の超高分解能位置決めを提案致します。また、装置の高精度化に伴い、チルト方向の制御も年々必要性を増しています。当ブースでは、1/1000秒を検出可能なチルトステージのデモもご覧いただけます。

 その他、驚異的な精度と分解能を達成した豊富なラインナップと装置校正用途の2次元レーザスケールや高精度ロータリエンコーダも展示致します。