丸文

中央区,  東京都 
Japan
http://www.marubun.co.jp
  • 小間番号5454

<<出展見どころ(HALL:5 No.4433) >>

当社、丸文のブースでは米国BIRD社のRF測定・モニタリングソリューションをご紹介致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波(RF)電源の電力測定装置を出展致します。

・パルスパワーセンサ:7023シリーズ
ドライエッチング等の装置でプラズマを発生させる際、RF電源を使用しますが、CWの出力だけでなく、信号のON/OFFを高速で繰り返すパルス出力を利用する場合があります。しかしながら、通常RF電源の出力を確認する場合はCWのみしか測定を行いませんので、パルスの出力が正確に出ているかという点は確認することが出来ません。

そこで、BIRD社はRF電源のパルス出力を測定する新たなパワーセンサを開発しました。出力がONになる点を自動で感知し、ON時間やパワーを測定し、Duty比も検出可能です。また、CW出力の測定も可能な為、従来品である4027シリーズの次世代機としても利用頂けます。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視(電流、電圧、位相角)を可能にした製品を出展致します。

・BDS/BDS-2
Bird Diagnostic System(BDS)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの状態監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析にも貢献致します。また、新しくリリースされたBDS-2では、従来のCWモニタに加え、メモリ製造等のプロセスにおいて需要の高まっているパルス出力のモニタや、周波数可変にも対応致しました。

また、BIRD社製品以外にも3RWAVE社製RFサーキュレータやWifi、Bluetooth、LPWA等のIC評価に最適なAdauratechnologies社製プログラマブルアッテネータ等展示しております。