三菱重工工作機械

栗東市,  滋賀県 
Japan
http://www.mhi-machinetool.com
  • 小間番号3365

三菱重工工作機械は、微細レーザ加工機、精密加工機、常温接合技術で微細加工ソリューションを提供します。

三菱重工工作機械(株)は、以下の3製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。

  (1)微細レーザ加工機ABLASER

短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない極めて高品質な穴加工や

       溝加工を実現します。本展示会ではシリコンとSiCの複合材ウエハやグリーンシート金型

       の穴明けサンプルを展示しております。

  (2)精密加工機μV1

高剛性、低振動主軸と撮像式工具測定システムによる高品位自由曲面加工を実現します。

       また、従来切削加工に不向きであった、セラミックスやサファイア等の脆性材料の加工にも

       適しています。

  (3)常温ウェーハ接合装置

室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に

       接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できます。

       各種材料の接合サンプルを展示しますが、特に3D積層用に5μmまで薄化した

       300㎜ウェーハの接合サンプルが見ものです。