ミニマルファブ

つくば市,  茨城県 
Japan
http://www.minimalfab.com
  • 小間番号6673

最新のミニマルシステムを35小間の広いスペースに動態展示いたします。皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会とミニマルファブ推進機構では、この1年間でミニマル製造装置の商品群の開発と、商品化へ向けた新たな装置群の開発を着実に進めて参りました。今回のキャッチフレーズは「ミニマルファブ先端へ」。見どころは次のとおりです。

・生産に使う水準に到達

・CMOS集積回路実証、各種センサー実証

・一部のプロセスは先端的レベルに到達(TiNゲート、FOWLP等)

・一部のプロセスはメガを凌駕(スキャロップフリー深掘りエッチング、超高速メッキ等)

●新規技術ミニマル装置  ※ 特設コーナーにて展示

・EB露光装置

・ミラープラズマCVD装置

・イオン注入装置

・薬液サーバー装置

●デモンストレーション

(1) リソグラフィーデモ

ブース通路際に配置する3装置群(塗布装置→露光装置→現像装置)で1時間に1回程度の割合で、複数の装置を連続して使用し、ものづくり(デバイス加工プロセス:「リソグラフィーデモ」)を実演します。

(2) スタンプラリー

昨年好評だったスタンプラリーのお楽しみ度UP。スタンプスポットブースでプチプレゼント。コンプリートいただきますと、ミニマル最新情報をお知らせいたします。また、抽選により当選者の方にあなたの名刺をリソグラフィ印刷したハーフインチウェハを差し上げます。

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