SCREENセミコンダクターソリューションズ

SCREENセミコンダクターソリューションズは、1983年に「回転式枚葉洗浄装置」の開発に成功して以来、今日まで長年にわたって、ウェーハ上の気液界面における最適な処理を追究し、枚葉式洗浄の技術を進化させてきました。

その技術とノウハウを受け継ぐ7番目の装置として誕生した「SU-3300」は、最大24チャンバの搭載による圧倒的な高生産性を誇り、優れた処理性能はもちろん、チャンバ間の処理差を最小化する最新機能を搭載するなど、安定稼働を実現。

今後、より一層厳しさを増す半導体デバイス製造の要求に、的確にお応えします。

「CW-2000」は、従来は半導体工場内のサブエリアに設置されていた薬液キャビネットや冷却ユニットなどの付帯設備を、本体内部にビルトインしたオール・イン・ワンコンセプトを採用することで、従来モデル比半減という省スペースを実現しました。

また、搬送機構の刷新により、1時間当たり標準で150枚、オプションのハーフピッチ仕様では最大300枚までのウェーハ洗浄が可能です。

さらに、目的や用途に合わせて処理槽数を選択できるため、フレキシブルで拡張性に優れ、研究開発から量産に至るまでのさまざまなニーズに対応できる装置となっています。

「60／80EX」は、多様化する電子デバイス製造ニーズに応えるため、対応アプリケーションと機能を充実させました。また、基本システムの性能の向上を図り、将来にわたって安心してご使用いただける装置となっています。

二極化するデバイス市場と技術トレンドに対応