山梨技術工房

南アルプス市 曲輪田,  山梨県 
Japan
http://www.ygkcop.co.jp
  • 小間番号5963


シリコンウェーハはもちろん、ガラスや半透明素材、裏面粗面ウェーハも異物測定できます。パーティクル検査はお任せください。

山梨技術工房はレーザ散乱方式でノンパターンシリコンウェーハ、ガラスなど透明及びSiCGaNLTなど半透明基板表面のパーティクルやスクラッチを測定する、ウェーハ表面検査装置YPIシリーズの製造・販売を行っています。今回の展示会では、測定したパーティクルや欠陥を観察できるレビュー機能を持った装置のパネル展示とYPI-MNの実機展示を行います。

  • パネル展示

YPI-MX Review

ウェーハ測定後異物のレビューが可能な装置になります。ウェーハ表面にどのような異物が付着したのか画像で確認ができます。ターゲットが無く探しづらいノンパターンウェーハの顕微鏡観察として役立つ機能です。

  • 実機展示

コンパクト設計の卓上型YPI-MNを実機展示致します。YPI-MNは、200mmまでのウェーハやガラス基板の表面パーティクルが測定可能なマニュアル搬送タイプのウェーハ表面検査装置です。

本体はフットプリント約548x672mmのコンパクト設計になっており、洗浄装置の横や、ラボの小さいスペースにも置く事ができます。検出感度は0.15μmBare-Si)を実現しており、お客様のパーティクル管理や測定要望に十分対応できる装置になっています。

  • パネル展示

SiCGaN基板用表面検査装置YPI-MX-DC

SiCウェーハを用いたパワーデバイス製造のプロセスモニタリング、洗浄確認、及びSiC表面研磨工程を管理されているお客様からご好評を頂いている装置です。

光源に355nmレーザを搭載し、独自技術である表裏分離測定機能にて、透明系基板の裏面情報を除いた、基板表面のみのパーティクルや微小スクラッチの検出が可能です。最高検出感度はSiCウェーハで0.100μmを達成しています。Review機能が搭載可能な装置です。

ウェーハ表面検査装置YPI-MX-θ/XY

ウェーハや透明ウェーハのデバイス量産工場でのプロセスモニタリングや洗浄確認に最適です。複数サイズのウェーハも自動搬送対応可能です。Review機能が搭載可能な装置です。

画像外観検査方式ウェーハ表面検査装置YPI-WF

ウェーハ表面の異物を画像処理で検査できます。検出画像を確認したいお客様に最適です。


 出展製品

  • ウェーハ表面パーティクルスキャナ YPI-MN
    シリコンウエーハやガラスウェーハの表面に付着したパーティクルやスクラッチを高速に全面測定できる装置です。測定した異物のサイズや位置をマップ上に描画できます。...

  • 光散乱方式でウェーハ表面のパーティクルやスクラッチを検出する、マニュアル搬送方式のウェーハ表面検査装置です。優れた特長を下記に示します。

    • 透明なウェーハや基板でも表面だけを測定可能です。
    • ウェーハ洗浄確認に最適な装置です。
    • プロセス装置の横に置けるコンパクト設計です。
    • 最高検出感度は0.15um (ベアシリコン)です。
    • 検出した異物をサイズ分類し、マップ上で色表示できます。
    • 異物の座標をアウトプットできます。
    • 異物の増加・減少のみをマップで確認できます。
    • 2~8インチまで対応できます。

    パーティクル測定や管理を検討しているお客様に最適な装置です。弊社ブースに展示していますので、是非お立ち寄りください。