レヴィトロニクスジャパン

台東区,  東京都 
Japan
http://www.levitronix.com/ja
  • 小間番号4160

レビトロニクスは半導体産業で使用される超高清純度ポンプ及びミキサの世界的なマーケット・リーダです。レビトロニクスの製品には他社の追従を許さない革命的な磁気浮上技術が採用されており、これにより非接触でパーテイクル・フリーの機能を実現しております。機械的な摩耗を一切生じないのでレビトロニクスのポンプはスラリ処理、金属メッキ処理、ウエットクリーニング・エッチング、並びに高清純度流体移送及び供給システム用途に理想的なポンプであります。そして、流量と圧力を正確に電子制御しながら連続フロ―の供給ができるポンプでもあります。

レビトロニクスのポンプはパーテイクルの発生や金属汚染を極限までに抑制することが必要とされる高清純度流体処理の為に設計されたポンプであります。独立した研究所が行った試験でレビトロニクスのポンプからのパーテイクルの発生はダイヤフラムポンプと比較して遥かに少ないことが証明されております。CMPスラリでのレビトロニクス、ベローズ、ダイヤフラム各ポンプ間の比較テストではウエーハのスクラッチや損傷の原因となりかねないパーテイクルがレビトロニクスポンプの場合、他タイプの200-1000分の1しか発生しないという結果が出ております。

レビトロニクスのポンプは下記の液体移送で市場占有率トップ:

  • CMP スラリ供給装置
  • ウエハ枚葉洗浄装置
  • 電気化学式析出装置(メッキ液)
  • 純水昇圧装置