ソフトワークス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.softworks.co.jp/
  • 小間番号5425


カスタマイズが可能な、高速画像検査測定装置を提供いたします。

超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。

ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させます。


 プレスリリース

  • 本装置は、超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。

    ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。

  • 本装置は高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ焦点法によりワイヤーボンドの3次元形状を測定します。

    従来の顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。

  • LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。

    バンプサイズが30μm以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では

    10μm程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。

    新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法に

    よってバンプの立体的投影像から3次元形状の測定を行います。


 出展製品

  • 高精度 ワイヤーボンド3次元外観検査装置
    本装置は高速高解像度カメラと顕微鏡を用いてレンズ焦点法によりワイヤーボンドの3次元形状を測定します。従来の顕微鏡目視測定に比べ、圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。 ...

  • 視野サイズ 約3.38mm×3.38mm
    画素分解能 約1.1μ/画素
    撮像速度 65Hz(MAX)
    検査時間1秒/視野 (Z軸ステップ数50の場合)
    検査項目ワイヤー形状(曲がり、切れ等)、
    ワイヤーループ(高さ)ボンド形状、ボンド位置
    ボンド径(近似楕円の長短径又はXY径)
    ボンド厚さ(高精度測定は20×対物が必要)
    検査再現精度ループ高さ±2μ以内(標準偏差)
    ボール径 ±1μ以内(標準偏差)
    ボンド位置  ±1μ以内 (標準偏差)
    最大連続検査量64チップ(同じチップ)1000ワイヤー
  • 超高速 ワイヤーボンド3次元外観検査装置
    本装置は、超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ...

  • (2次元画像処理部)
    ・視野サイズ 約7㎜×5.6㎜
    ・画素分解能 約2.3μ/画素
    ・作動距離 約  96㎜
    ・検査時間 0.5秒/画面以内
    (3次元画像処理部)               
    ・視野サイズ 約9㎜×5.6㎜
    ・画素分解能 約5μ/画素
    ・作動距離 約131㎜
    ・検査時間 1秒/画面以内
  • マイクロバンプ3次元測定装置
    LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。バンプサイズが30μm以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では10μm程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法によってバンプの立体的投影像から3次元形状の測定を行います。 ...

  • 対応ウェハ 6,8、12インチ可能 
    最小測定可能バンプ10μmφ
    カメラ 8192画素TDI方式高速ラインセンサーカメラ 
    レンズ倍率 * 20×
    画素分解能 0.35μm/画素
    照明光源        青色半導体レーザー
    測定再現精度(σ)±0.1μm(2D径)±0.2μm(3D高さ)
    検査時間 * 12分/6インチウェハ (200万バンプ)
    *)レンズ倍率と検査時間は対応可能なバンプサイズで異なります。
    例えば30μmバンプに対応
    する装置の場合ならレンズ倍率7×程度となり、
    検査時間も1/8程度に短縮する事が出来ます。
  • ハンディAFM(原子間力顕微鏡)
    圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、奥行き幅、共に15cmの超小型AFMで、プローブ付きで宅配便の混載でも大丈夫です。SEMや高倍率の3次元光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、多彩です。走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの2種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は必要有りません。また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。小型の自動ステージやインライン全自動機に対応致します。...

  • ☆ 走査ヘッド:    高分解能型      広域走査型

    ☆ 最大走査レンジ    10μm        110μm

    ☆ 最大Zレンジ    2.0μm        22μm

    ☆ Z方向分解能   0.000107 nm *1    0.0013 nm  *1

    ☆ XY方向分解能  0.00059 nm *1     0.0065 nm  *1

    ☆ 非線形性        <0.6%        <0.6% 

    ☆ Zノイズレベル(RMS)40pm        90pm
  • 高速異物検査装置
    本装置は高速高解像度カメラと特殊ドーム照明用いて異物測定を自動的に行います。手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度CMOSカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。またインラインにも容易に対応致します。 ...

  • (検査仕様)
    ・  サンプルサイズ 約200mmΦ
    ・  検査範囲       160mmΦ
    ・  画素分解能         約22.5μ/画素
    ・  作動距離         約181mm
    (画像処理)、
    ・  輝度ムラ補正
    ・  サンプル位置の自動認識
    ・  自動2値化(平均輝度、オフセットに対する2値化)
    ・  自動異物測定 面積平均径、外接矩形の長さ
    ・  判定、サイズ3段階、許容個数を入力
    ・  統計処理:品種、ロット、各異物の情報