ハイデンハイン

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.heidenhain.co.jp/
  • 小間番号4214


半導体製造に適したハイデンハインの高精度位置決め技術をご紹介します。

ハイデンハインの半導体製造・検査装置向けソリューションとして、

  • リニアエンコーダ: LIP 6000シリーズ、MC 15シリーズ、LIKgoシリーズ、
  • 角度エンコーダ: ERP 1000シリーズ、MCR 15シリーズ

といった、お客様の幅広いニーズに応えた製品を各種出展いたします。


 出展製品

  • LIP 6000シリーズ
    小型で限られた取付けスペースにも対応する超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ。ホーミング機能とリミットスイッチ機能搭載。 ...

  • OPTODUR位相格子付き Zerodur ガラスセラミック

    信号周期: 4 μm

    精度等級: ± 1 μm、± 3 μm

    推奨分解能: 2 nm

    最大測定長: 3040 mm

    インターフェース: 1VPP、TTL

  • MC 15シリーズ
    取付けが簡単な小型アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ。 各種高速シリアルインターフェース対応。 ...

  • アブソリュートコードトラック付スチールスケールテープ

    精度等級: ± 15μm

    分解能: 50nm / 100nm

    最大測定長: 6000mm

    最高走査速度: 10 m/s

    インターフェース: EnDat 2.2、ファナック、三菱、パナソニック、安川

  • LIKgoシリーズ
    インクリメンタルオープンタイプリニアエンコーダ 小型かつ軽量 低電力消費量 ...

  • スチールスケールテープ

    目盛間隔: 20μm

    精度等級: ± 3μm、±5μm

    最大分解能: 78.125 nm

    最大測定長: 3048 mm

    インターフェース: 1VPP、TTL

  • ERP 1000シリーズ
    小型で軽量・低慣性モーメントの高精度角度エンコーダ。 全周角、部分角バージョンあり。 ...

  • OPTODUR位相格子付きガラスディスク

    信号周期/回転: 23000~63000

    目盛精度: ± 4” ~± 0.9”

    測定角(度): 4/5/8/10/11/15/16/21/23/31/36/360

    インターフェース: 1VPP、TTL

  • MCR 15シリーズ
    アブソリュート組込み型角度エンコーダ...

  • アブソリュートトラック付スチール目盛ドラム

    精度等級: ± 10μm、± 15μm、± 20μm

    目盛ドラム外径: 59.93 mm ~ 350.23 mm

    最高分解能: 0.038”

    最高回転速度: 12200rpm

    インターフェース: EnDat 2.2、ファナック、三菱、パナソニック、安川