浜松ホトニクス

浜松市中区,  静岡県 
Japan
http://www.hamamatsu.com
  • 小間番号2160

多層/積層やインラインでの膜厚計測にお困りの方に、非接触で高速の膜厚計を提案します。

弊社のOpticalGaugeシリーズは、デフォーカス依存性や角度依存性にすぐれ、長いワーキングディスタンスでIn-situ測定にも対応することができます。

会場では、In-situ測定をイメージさせる透明箱中のウエーハサンプルを外部から高精度で膜厚測定するデモを行います。


 出展製品

  • 静電気除去装置 フォトイオナイザ
    X線の電離作用を利用し大気中の原子/分子をイオン化する軟X線式イオナイザです。広範囲を短時間に除電可能です。...

  • 従来のコロナ放電式の静電気除去装置は、放電現象によりイオンを生成し、生成したイオンを送風で送ることで静電気を除去していましたが、フォトイオナイザはX線を照射することで大気を直接イオン化して静電気を除去します。

    それにより、「0V除電」「送風が不要」「塵・電磁ノイズの発生なし」「メンテナンスフリー」「特殊環境下(不活性ガス・ドライエア等)にも対応」を実現します。

    また、コンパクトな形状ですので、製造工程に合わせて自由自在に設置することが可能です。

  • 静電気除去装置 VUVイオナイザ
    真空紫外光(VUV光)を利用し真空中の残留原子/分子をイオン化する紫外線式イオナイザです。従来困難であった真空中での効率の良い除電を可能にしました。...

  • 従来の静電気除去装置は、そのイオン化及び除電方法より真空中での除電が今まで不可能でしたが、VUV イオナイザは真空紫外線を照射することで真空中の残留分子をイオン化して静電気を除去します。

    0V除電」「送風が不要」「塵・電磁ノイズの発生なし」「メンテナンスフリー」を実現します。