東栄科学産業

名取市,  宮城県 
Japan
http://www.toei-si.jp/
  • 小間番号6661

東栄科学産業(磁気応用部)は各種磁性材料、磁気デバイスの検査・評価の専業装置メーカーとして、磁気応用産業の多様な要求にベストな磁場印加環境を提供しています。

当社最大の強みである電磁石の構想力を武器に、設計、シミュレーション、製作、検査まで、社内一貫生産を行うことで、確実かつスピーディーな磁場環境の提供を可能にしています。

ブースでは、半導体に関する磁場印加システムの最新技術を展示しますので、是非、TOHOKUパビリオン内の当社ブースへお立ち寄り下さい!

--------展示内容---------

◆STT-MRAMテスティングシステム

次世代の不揮発性メモリとして最も期待されているのが、STT-MRAMです。STT-MRAM用ウエハーには、電気的特性に加え、磁気的特性を保証するために、磁場を印加してのテスト環境が必要であり、それが、STT-MRAMテスティングシステムです。東北大学CIES様との共同研究開発した装置について、ポスター展示します。

◆磁場中アニール炉

磁気デバイス用ウエハーの磁化の向きを揃えるなど、半導体製造において欠かせない装置です。今回は、より高温で昇温速度が速い、当社の新しい磁場中アニール炉を、協力企業と共同で展示します。

◆高周波磁性薄膜評価装置

マイクロストリップラインプローブを本装置に搭載することで、ウエハーなどの磁性材料の高周波磁気特性をインライン(非破壊)で測定可能となり、高周波、極薄膜の測定評価を実現しました。具体的には磁歪測定、透磁率測定、デバイスの電気特性と多様な測定が可能です。実際に本装置の要であるマイクロストリップラインプローブを展示します。