対向式2軸スピンドル搭載 高速で且つ高精度の小フットプリント300mmフルオートダイサ
スレージ可動範囲20mm・50mm・200mm・300mmをラインナップ 8、12インチウェーハの測定も可能な非接触3D表面粗さ・形状測定機