東京工業大学 メカノマイクロプロセス室

Yokohama-shi Midori-ku,  Kanagawa 
Japan
http://www.mmp.pi.titech.ac.jp
  • 小間番号4172

すずかけ台キャンパスにある「メカノマイクロプロセス室(100m2クラス1000クリーンルーム及び90m2クラス10000クリーンルーム)」のご紹介です. 微細加工に必要な一連の装置が設置されています.クリーンルームと装置群の管理・運営は技術部マイクロプロセス部門に委託され, 学内外の希望者には一定の条件(費用負担を含む)のもとに,設備の使用を認めています.