文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業 微細加工プラットフォーム

京都市,  京都府 
Japan
http://nsn.kyoto-u.ac.jp/
  • 小間番号5527

最先端の微細加工プロセス、評価装置が自在に利用できる! MEMSデバイスからIoTまで、あなたの研究開発を支援します!

概要

ナノテクノロジープラットフォームは、微細加工、微細構造解析、分子・物質合成の3つの技術領域で全国25の大学、研究機関が最先端の研究設備を、企業をはじめ一般の方へオープンにし、技術、ノウハウを提供することで皆様の研究開発とイノベーションの創出に貢献します。その中で微細加工プラットフォームでは、約600台の装置を登録し、ネットワークを構成することでお互い補完し合いながらMEMSをはじめ新規デバイスの試作、加工、評価や研究開発初期における検証実験などにご活用いただけます。
展示ブースでは、利用の仕方や、最近の利用事例とその成果をご紹介します。 利用したい装置がある方、研究に課題をお持ちの方は是非お立ち寄りください。

利用可能な装置の例
リソグラフィ装置
電子線描画装置、マスクレス露光装置、レーザー描画装置 等
成膜、膜堆積装置
原子層堆積装置、多元スパッタ装置、プラズマCVD装置、各種蒸着装置 めっき 等
膜加工、エッチング装置
RIE装置、D-RIE装置、レーザー加工装置 集束イオンビーム加工装置 等
熱処理、ドーピング
イオン注入装置、アニール炉、ランプアニール装置 等
表面処理
プラズマ処理装置 等
形状観察、分析
走査電子顕微鏡、走査プローブ顕微鏡、分光分析装置、X線回折装置、膜厚測定装置 等
切削、接合、研磨
ウエハ接合装置、CMP、ダイシング装置 等
電気計測
電子材料・デバイス評価,太陽電池評価,ワイアボンダ
機械計測
振動・変形測定,粒子測定
シミュレーション CAD
デバイスシミュレータ,プロセスシミュレータ,CAD

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