ユタカ

大田区,  東京都 
Japan
http://www.yutaka-crown.com
  • 小間番号8411


ガス混合装置、高純度ガス対応圧力調整器、分析・研究用ガス対応機器を取り揃えてお待ちしております。

供給圧力14.8MPa対応圧力調整器「R72シリーズ」

大流量用圧力調整器「RL1シリーズ」

ステンレス製半自動切換装置レクタ「EXCS-5シリーズ」

ブラス製半自動切換装置レクタ「EXC-5シリーズ」


 出展製品

  • 高純度半導体製造プロセス用精密圧力調整器L26シリーズ
    低圧標準流量タイプ...

  • ダイヤフラム部メタルシールの一段減圧式 フリーポペットタイプの低圧標準流量タイプ

    オプションでパーティクル0.1μmノーカウント仕様をラインアップ

    圧力調整ハンドルの操作性向上で、正確かつ安定した圧力制御を実現。又、抜け防止仕様を標準採用

    組 立:クリーンルーム内クラス100及びベンチ内クラス10の環境にて組立

    洗 浄:超音波特殊脱脂洗浄及び超純水温水洗浄実施

    梱 包:真空脱気,N2ガス封入の2重パックにて出荷

    オプション Q:研磨処理 Ra 0.05μm

  • 高純度半導体製造プロセス用精密圧力調整器L36シリーズ
    SUS 製ニードル式入口低圧大流量タイプ ...

  • コンパクトボディで大流量を流す事が可能。(Cv値=1.1 下記流量曲線参照)
     ハステロイC22のダイヤフラムとのシールにメタルシールを採用。
     高純度ガスをコンパクトなボディで大流量ご使用が出来ます。