列真

品川区,  東京都 
Japan
http://www.lazin.jp
  • 小間番号6158


まだ「高い!」検査装置のためにはたらいてませんか? レージンの検査装置なら貴方の為に働きます!

弊社は 独自のレーザー検査技術を駆使して、化合物半導体ウエハや石英ガラス等の表面及び内部欠陥検査に特化した検査装置の製造・販売を行っております。

実機出展「 LODAS™ - SiC 」

特徴:http://www.lazin.jp/service.html

◎ SiC単結晶ウエハ,EPIウエハ両方検査可能。

◎ 表面欠陥、内部欠陥、裏面欠陥も同時検査。

◎ 欠陥分析を助ける4種類のReview画像。

◎ 「AI Classify」が欠陥分類、良否判定を行う。

◎ メンテナンスフリー。

◎ 世界初登場!ハイブリッド検査装置。

  反射散乱光、透過散乱光、共焦点光

  による次世代非破壊検査テクノロジー!


 出展製品

  • 結晶欠陥検査感度0.1μm 卓上型SiCウェハ欠陥検査装置
    【デモ機貸出実施中】 SiCウェハ検査、分析がすぐ始められる。 「LODAS-SiC」は(シリコンカーバイト)基板用の検査装置です。 バルク単結晶ウェハ、EPIベアウェハ等の結晶欠陥、積層欠陥およびエッチング工程前までのパーティクル、傷等の欠陥を検査。  ...

  • 〇ウェハに(反射光、透過光、共焦点)各方式で同時に検査、画像確認して、欠陥種類に適した検査方式が可能です。
    (反射光、透過光、共焦点に適した検査方法があります)
    〇表面欠陥以外に内部欠陥、裏面欠陥も同時に検査可能
    〇標準装備された高倍率顕微鏡で欠陥形状のサイズ測定を即確認可能
    〇検査希望のウェハをお送り頂ければ無償で検査し、データを提供可能
    〇変換アタッチメント(2~6インチ用)にて簡単に載せ替えて検査可能

    特  徴:「AI Classify」欠陥サイズによる分類。
    (例:欠陥サイズレンジを0.1μm~0.15μmに設定、欠陥数を自動カウント)
    :欠陥分析を助ける4種類のReview画像
    (反射光画像、透過光画像、共焦点画像、顕微鏡画像)
  • 検査感度0.1μm 卓上型フォトマスク原板欠陥検査装置
    【デモ機貸出可】これ1台で、異物・傷検査から欠陥分析レビューを実現! 卓上型レーザー検査装置『LODAS』シリーズは 「反射光」「透過光」「共焦点」同時検査ガラス製品の表面、内部、裏面欠陥に対して一回で検査します...

  • 『特長』http://www.lazin.jp/service.html
    ◎高い!検査感度:0.1μmPSL
    ◎速い!検査速度:3分(6025サイズ)
    ◎安い!価格:1000万
    ◎小さい!PCを使う感覚で操作簡単です。
    ◎欠陥ReviewDIC顕微鏡(x1000倍)標準装備。
    検査してすぐ欠陥分析できます。
    ◎自動欠陥分類「AI Classify」が良否判定を行います。
  • GaN EPIウエハ検査装置 LODAS GaN
    【デモ機貸出可】レーザー共焦点、散乱反射光、透過光検査はGaNウエハの表面欠陥、内部欠陥、裏面欠陥を検出します 「LODAS(TM)- GaN」は、窒化物半導体エピタキシャルウェハ(GaN EPIウエハ)用の検査装置です。 反射光、透過光検査は内部欠陥、裏面欠陥も検出可能。...

  • http://www.lazin.jp/service.html

    【特長】
    ◎レーザー共焦点光検査は裏面ラッピング面の外乱光影響を受けずに最大限に検査能力を発揮。
    ◎反射光、透過光検査は内部欠陥、裏面欠陥も検出可能。
    ◎欠陥分析を助ける4種類のReview画像。
    ◎「AI Classify」が欠陥分類、良否判定を行う。
    ◎メンテナンスフリー。