六甲電子

西宮市,  兵庫県 
Jordan
http://www.rokkodenshi.com/
  • 小間番号6457

Si・SiC・サファイアなどのウエハを研削・研磨・RCA洗浄・べベル研削を製品受託加工をしている会社です。

新技術情報

シリコン基板の超薄化はもちろん、SiC,LT,LN,SAウエハ加工において、極薄化・超平坦化し、反りを低減させる為にサポートの受託ビジネスをスタートさせました。

●パワー・センサー・MEMS向けシリコンウエハの超薄化加工。

36インチのウエハ再生加工及び48インチのダミーウエハの販売を実施しております。お客様のご要望に応じて研削・研磨・洗浄のトータルで加工致します

SiC加工

6"SiCSi面エピレディー研磨加工においてRa:1オングストロームを達成しました。

Siの加工

●表面パターン付ウエハーの裏面薄化BG&POL後の裏面のみのRCA洗浄が可能です。8"Siウエハ85μ厚みでも量産対応中。

●薄化ウエハのナイフエッジ防止の為のべベル加工対応。