レーザーテック

横浜市港北区,  神奈川県 
Japan
https://www.lasertec.co.jp
  • 小間番号7608


レーザーテックは最先端の半導体製造プロセスに不可欠な高精度の検査・測定装置をご提供しています。

主力のマスク・マスクブランクス欠陥検査装置の新製品や、EUVL関連検査装置およびウェハエッジ検査装置、SiC/GaNウェハ欠陥検査装置などをご紹介します。またハイブリッド・レーザーマイクロスコープのデモを行います。

検査・計測に関する新規案件も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。


 出展製品

  • マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズM9650/M9651
    設計ルール5nm以降の最先端半導体マスク用ブランクス欠陥検査/レビュー装置...

  • EUVマスクブランクス、光マスクブランクス、サブストレートの欠陥検査

    ・欠陥レビュー

    ・欠陥サイジング

    ・半導体・オブ・ザ・イヤー2019 製造装置部門 グランプリ受賞

  • EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICS E120
    EUVマスクブランクス上の転写性位相欠陥の検出および欠陥管理...

  • EUVマスクブランクス(Mo/Si多層膜)の検査

    EUVマスクブランクスの欠陥解析

    ・欠陥の高精度位置検出

    ・半導体・オブ・ザ・イヤー2018 製造装置部門 グランプリ受賞

  • マスク欠陥検査装置 MATRICS X8ULTRA
    デザインノード7nm/5nmに対応可能なEUVマスク用の半導体マスク検査装置...

  • ・ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質確認検査

    EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査

  • EUVマスク裏面検査/クリーニング装置 BASICシリーズ
    EUVマスク裏面の異物検出・高さ測定・クリーニング昨日を1台に統合...

  • ・ウェハファブにおけるEUVマスク裏面の定期管理・受入れ検査

    EUVマスク裏面の異物の検出・高さ測定・クリーニング

    ・マスクメーカー、ブランクスメーカーにおける出荷検査

    ・半導体・オブ・ザ・イヤー2013 半導体製造装置部門 グランプリ受賞

  • SiCウェハ欠陥検査/レビュー装置 SICA88
    表面検査およびフォトルミネッセンス(PL)検査の両方を備えた検査装置...

  • SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査

    SiCエピタキシャル成長プロセスの管理

    SiC研磨プロセスの管理

    SiCデバイス製造プロセスの管理

    ・半導体・オブ・ザ・イヤー2016 半導体製造装置部門 優秀賞受賞