西村ケミテック

大阪市天王寺区堂ヶ芝1丁目,  大阪府 
Japan
http://www.nishimura-ct.co.jp/
  • 小間番号5674


㈱西村ケミテックは半導体用製造装置、薬品等を取り扱っております。 装置の実機展示も行いますので、是非一度ご来場ください。

株式会社西村ケミテックは“常に新たな付加価値を創造し、企業進化に挑み、お客様と全社員の満足と安心を追求する”経営理念を基にお客様により良いサービスを提供し続けております。

弊社半導体分野におきましては、自社製品を始め、米国・韓国の選りすぐられた半導体装置・材料を取り扱っており、お客様に喜んで頂けるラインナップとなっております。今回は実機と映像をメインに理解しやすい展示を心がけており魅力のあるブースとなっておりますので、是非一度ご来場ください。

弊社展示ブースにおいては、下記8つのアイテムを紹介させて頂きます。

1:西村ケミテック(日)スラリー/ケミカル希釈供給システム

2:Forth-Rite(米)CVD装置用エンドポイントディテクター

3:Unisem(韓)排ガス除害装置

4:LOT VACUUM製(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)

5:Husem(韓) ヒートジャケット

6:NvisANA(韓)ICP-MS, OCIM

7:Lanxess(韓)有機金属材料(TMG・TMA・TMI・TEG)

8:MTI(韓) HYPER PRO(ウェハー Saw工程の薬液、洗浄液)

LOT VACUUM(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)/ Unisem(韓)排ガス除害装置/ Forth-Rite社(米)エンドポイントディテクター/スラリー/ケミカル希釈供給装置/ LOT VACUUM(韓)ドライポンプ(真空ポンプ)/ HUSEM(韓) ヒータージャケットは実機・サンプル展示を致します。

是非、弊社ブースに来展頂き手に取って御観覧ください。


 出展製品

  • Trace-Rite (FORTH RITE)
    Trace-Riteは成膜プロセスのモニタリングをして、歩留まりの向上を可能にします。また、クリーニングのエンドの検知をして、装置を停止させることを実現させるシステムです。...

  • Trace-Riteは高周波電源をディテクターで測定し、電流、電圧、位相角、インピーダンスなどから、成膜プロセスをモニタリング出来ます。異常を発見し装置を停止出来る為、歩留まりを向上させます。

    また、クリーニング中のエンドポイントも最適化でき、NF3などのクリーニングガスの削減、シャワーヘッドなどのプロセスkitの長寿命化等に貢献いたします。

  • WCS-300M/OCIM
    ●WCS-300M ウェハ上の金属汚染をsub-pptレベルで高感度分析が可能。   高い安全性を持ち、前処理から後洗浄まで自動化した全自動VPD-ICP-MSシステム。 ●OCIM   ケミカル、UPW、ガス中の金属不純物をsub-pptレベルでOn-Line/Real-Time分析。   安全かつサンプルの汚染を防止した全自動サンプリング/分析システム。...

  • ●WCS-300M:全自動/一体型VPD-ICP-MSシステム
    -Sampling/VPD/ICP-MSを省スペースの筺体に収めた一体型システム。

    -ICP-MSシステム校正、サンプルチューブの自動洗浄、清浄度の自己診断、
    スキャン溶液、クリーニング溶液の自動調製により前処理、後処理まで自動化。

    -親水面、疎水面のどちらでも測定可能。

    -Full, Radial, Point, Edge, Bevelなど、測定箇所をカスタマイズできます。

    -インターロックシステムと連動したリークセンサーとガス検知器を装備。

    -駆動部、試薬吐出部を筺体に収め、作業者への衝突、被液を防止。

    ●OCIM:Onlineケミカル汚染監視システム
    -Sampling/前処理/測定/後洗浄まで全自動で行うオンライン監視システム

    -測定に人を介さない安全設計

    -メインユニットとサンプリングユニットで構成。最大60chを1つのメインユニットで測定可能

    -バルクケミカル、プロセスケミカル、UPW、プロセスガスの測定が可能

    -インターロックシステムと連動したリークセンサーとガス検知器を装備

  • 薬液・スラリー供給システム (西村ケミテック)
    薬液・スラリー等を集中・個別で調合し、供給をするシステムの開発・設計・製造のサービスを提供しております。 ...

  • スラリー・薬液集中供給装置・個別供給装置、ドラムキャビネット、薬液・スラリー直前調合装置をメインに自社設計の装置を販売してます。弊社の強みは社内にて経験豊かで、知識豊富なメンバーが設計しており、お客様の要望を聞き、理想を現実にすることができます。

    今回の展示会では直前調合装置の展示を行います。直前調合装置とはバルブBOX程度の大きさのシステムで薬液やスラリーをインラインで調合し供給する装置です。タンクが不要の為、フットプリントの向上だけでなく供給途中での濃度変更が容易にできます。

    是非実機をご観覧ください。

  • 除害装置 (Unisem)
    有毒ガス(可燃性ガス)を十分に除去し、工場側のダクトへ排出するシステム 除害方式:燃焼方式、プラズマ方式、ヒーター方式、乾式方式など各種。 ...

  • 除害方式:燃焼方式、プラズマ方式、ヒーター方式、乾式方式など各種。
    装置概要:半導体及び液晶製造装置から排出される有毒ガス(可燃性ガス)を、上記の方式で除去する装置です。有毒ガスが十分に除去された状態で工場側のダクトへ排出するシステムです。

  • DuraDry™ (LOTVacuum)
    DuraDry™シリーズは、プロセス副産物のHeavy Duty Application吸引排出する能力に優れる特徴を持ったドライポンプです。...

  • LOT Vacuumは、半導体および液晶行程で使用する真空ポンプの開発、製造、販売を行う会社です。DuraDry™シリーズは、プロセス副産物のHeavy Duty Application吸引排出する能力に優れ、韓国国内外で6000台以上の納入実績があります。韓国市場の80%以上を占めています。顧客の要望を考慮し、消費電力軽減、低ノイズ、低振動のドライポンプのLD、HDシリーズを開発しました。大型化されているシステムに対応できるようにGD、GHDシリーズも開発しました。現在の市場は、半導体のほか、LCD、LED、太陽電池分野にも対応しています。また、鉄鋼、化学、ガスなどの一般産業分野での需要が増加しています。