日本インテグリス

港区,  東京都 
Japan
https://www.entegris.com
  • 小間番号7214

日本インテグリスは、インテグリスは、半導体産業などのハイテク産業向けに特殊配合薬品や先端材料のソリューションを提供するリーダー的企業です。
SEMICON JAPAN 2019では、先端ノードの実現と歩留まり改善への貢献をテーマに以下のような課題におけるソリューションをご紹介します。
是非、日本インテグリスのブースにお立ち寄りください。
  • 完璧なパターンの追求
  • リソグラフィー向けフィルトレーション
  • プロセスガス精製
  • 高純度薬液供給
  • 配管の静電気の帯電と放電防止
  • ガスろ過による欠陥の低減
  • 一貫したウェーハハンドリング
  • 極端紫外線 (EUV) 用レチクルの保護と搬送
  • 薬液容器の清浄性と安全性
  • 薬品用ガラス容器の課題
  • CMPスラリーの粒度分布
  • 3D NAND:96層を超える
  • 成膜材料の技術革新
  • 有毒ガスの安全性への革新 
  • プラズマチャンバー部品のコーティング

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