丸文

中央区,  東京都 
Japan
http://www.marubun.co.jp
  • 小間番号5454

<<出展見どころ(West HALL:4 No.5454) >>

当社、丸文のブースでは米国BIRD社のRF測定・モニタリングソリューションをご紹介致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波(RF)電源の電力測定装置を出展致します。ロジック・ファウンドリ向けのドライエッチング装置では細かなRFパワーコントロールが求められます。BIRDでは現状の1%精度からさらなるパワーセンサの精度向上(0.5%)を実現するセンサを開発しております。

・パルスパワーセンサ:7027シリーズ
ドライエッチング等の装置でプラズマを発生させる際、RF電源を使用しますが、CWの出力だけでなく、信号のON/OFFを高速で繰り返すパルス出力を利用する場合があります。しかしながら、通常RF電源の出力を確認する場合はCWのみしか測定を行いませんので、パルスの出力が正確に出ているかという点は確認することが出来ません。

そこで、BIRD社はRF電源のパルス出力を測定する新たなパワーセンサを開発しました。出力がONになる点を自動で感知し、ON時間やパワーを測定し、Duty比も検出可能です。また、CW出力の測定も可能な為、従来品である4027シリーズの次世代機としても利用頂けます。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視(電流、電圧、位相角)を可能にした製品を出展致します。

・BDS-2
Bird Diagnostic System(BDS)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの状態監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析にも貢献致します。また、新しくリリースされたBDS-2では、従来のCWモニタに加え、メモリ製造等のプロセスにおいて需要の高まっているパルス出力のモニタや、周波数可変にも対応致しました。

また、BIRD社製品以外にも3RWAVE社製RFサーキュレータやオシロスコープやファンクションジェネレータといった機能をまとめたマルチ測定器Moku;Lab(Liquid instruments社)を展示致します。


 出展製品

  • 非50ΩRFモニタシステム BDS-2(V/I/θ測定)
    ドライエッチングやプラズマCVDに不可欠なRFのリアルタイムモニタ。マッチャー以降、チャンバ内に挿入される実効電力確認用RFパワーセンサです。装置機差・チャンバ間差のモニタに最適。 ...

  • Bird Diagnostic System(BDS2)は、RF(高周波)電力測定において革新的なモニタシステムです。特にRFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常置監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。ログデータや、簡易スペクトラムアナライザ機能を利用することで、プロセス成功時のRF状態把握、プロセス失敗の原因や解析を行うのにも役立ちます。また、ドライエッチングにて注目されているパルス出力モニタにも対応しています。
    既存のセンサでは測定不可能だった非50Ωラインの測定を、是非BDS2にてお試し下さい。
  • RF電源校正用高精度パワーセンサ7027,7029(パルス・CW)
    450mmウェハに拡大しない市場を背景に、パルス出力制御といった積層化技術が一層重要視されている中、BIRD社では多段階パルス対応の高精度パワーセンサを開発致しました。...

  • 半導体市場ではウエハの大口径化が停滞する中、メモリ等の分野において積層する技術が注目されています。積層技術の革新は高精度なエッチング技術が必要となります。BIRD社では、高精度ドライエッチングに不可欠なパルスRF電源の出力モニタ用RFセンサを開発致しました。高精度保証、読取値の±1%(校正周波数における全パワーレンジ)、最大4段階パルス測定を実現しています。

  • RF電源校正用高精度パワーセンサ4027A
    BIRD社(バード社)のModel 4027Aシリーズは、半導体市場向けの高精度RF(高周波)計測を目的として開発されたパワーセンサです。...

  • 半導体市場ならびにフラットパネルディスプレイ市場では、プラズマ発振の安定のため、精度の高いRF(高周波)計測を必要とする傾向があります。そのようなお客様のご要求に応えるため、BIRD社では独自にパワーセンサ自体の不確かさや誤差を十分精査しております。また、校正基準等にも大きな見直しを図った上で、高精度(校正出力・校正周波数において計測読取値±1%を実現しております。
    品質保証部門や製造プロセス、保守メンテナンスで非常に有用となり得ることをお約束いたします。

  • マルチファンクションパワーメータ Model 4421A
    BIRD社(バード社)のModel 4421Aは高精度パワーセンサ4020や4027Aシリーズの表示用メータとして長らく御愛好頂いた4421の後継機種となります。...

  • BIRD社(バード社)のModel 4421Aは、4421の後継機種です。従来メータと比較し、センサの2台同時接続・測定が可能な点や、タッチパネル操作による直感的な操作等RF電源校正作業の効率向上に主眼を置いた製品となります。4421の置き換えとしてぜひご検討ください。
  • マルチファンクションジェネレータ・アナライザ Moku:Lab
    任意信号発生器・オシロスコープ・スペアナ・データロガー等、エンジニアが業務で使用する測定器を1台にまとめたオールインワン測定器をご提案致します。...

  • これ1台で設計開発に必要な測定機能を網羅。

    Liquid instruments社ではRF機器等の電子回路、部品・材料の評価試験に最適な様々な機能(任意信号発生器・オシロスコープ・スペアナ・データロガー)を有した多機能測定器を提案致します。煩わしいグラフの微調整にうんざりしている貴方、ipadを使用したソフトウェアが直感的な操作性を実現致します。*その他位相計や周波数応答解析等機能も追加オプションで設定追加可能