兵庫県立大学 豊田研究室

姫路市,  兵庫県 
Japan
  • 小間番号3872

ガスクラスターイオンビーム(GCIB)による高密度照射によって生じる表面反応促進効果を用い、様々な難加工材料のエッチングや原子層エッチングへの応用をご紹介します。