三菱重工工作機械

栗東市,  滋賀県 
Japan
http://www.mhi-machinetool.com
  • 小間番号3365


三菱重工工作機械は、微細レーザ加工機、常温接合技術で微細加工ソリューションを提供します。

三菱重工工作機械(株)は、以下の2製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。

  (1)微細レーザ加工機ABLASER

       短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない極めて高品質な穴加工や

       溝加工を実現します。本展示会ではシリコンとSiCの複合材ウエハやグリーンシート金型

       の穴明けサンプルを展示しております。

  (2)常温ウェーハ接合装置

       室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固

       に接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できま

       す。

       各種材料の接合サンプルを展示しますが、特に3D積層用に5μmまで薄化した

       300㎜ウェーハの接合サンプルが見ものです。


 プレスリリース

  •  三菱重工工作機械(株)は、以下の2製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。

    (1)微細レーザ加工機ABLASER

    短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない極めて高品質な穴加工や溝加工を実現します。本展示会ではシリコンとLtの複合材ウエハやアルミナ、石英の穴明けサンプを展示しております。

    (2)常温ウェーハ接合装置 

    室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できます。各種材料の接合サンプルを展示しますが、特に3D積層用に15μmまで薄化した300㎜ウェーハの接合サンプルが見ものです。

  • (20191023)

 出展製品

  • 微細レーザ加工機ABLASER
    鉄系材、シリコンウエハ、Sic、ガラス材等に微細な穴や溝を加工するレーザ加工機です。短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない高品質な加工面が得られ、精密金型、精密ノズル、MEMS、半導体部品の加工に活用できます。...

  • ABLASERは当社独自のレーザヘッドの採用で、ストレート穴、テーパ穴、逆テーパ穴等の多彩な穴加工が可能です。切削加工や放電加工に比べ、加工時間が早いうえに、高品位な加工面とシャープなエッジが特徴です。また、加工機本体には、熱変位の少ない高剛性グラナイト製ベッドとコラムを採用。これに、長年の工作機械作りで培ったNC精密位置決め機構を搭載し、ミクロンオーダの位置決め精度を実現しました。グリーン光を用い、更なる小径穴(20ミクロン以下)の高精度加工を実現しております。穴加工、精密切断、溝加工等の幅広い微細加工アプリケーションと、鉄系材、Sic、シリコンウエハ、セラミックス、ガラス材等多様な材質への適用により、MEMS、半導体部品、精密金型、精密ノズル、医療機器など、幅広い分野に活躍の場が広がっております。
  • 常温ウェーハ接合装置
    シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属等多岐にわたる材料を室温で強固に接合する装置です。MEMSの真空封止、SAWフィルタ用基板、3D積層などに活用できます。...

  • ウェーハ表面をイオンビームや中性原子照射により活性化し、室温で接合する装置です。MEMSのウェーハレベルパッケージングでは、既にデバイスの量産に用いられており、高精度の加速度センサ、圧力センサ、ジャイロ、発光素子、SAWフィルタを始め様々な分野で実用化が進んでいます。4インチから12インチまでのウェーハサイズに対応し、経済的なランニングコストでデバイスの量産を支えます。

    三菱重工工作機械では、デバイスの開発フェイズに合わせた接合サービスを行っており、お客様の開発するデバイスの製品化をサポートしています。

    また、装置の購入計画のないお客様に対しても接合のサービスを実施しています。