ミニマルファブ

つくば市,  茨城県 
Japan
http://www.minimalfab.com
  • 小間番号6673

最新のミニマルシステムを36小間の広いスペースに動態展示いたします。皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

ミニマルファブ推進機構とファブシステム研究会及び産総研では、ミニマル製造装置群を開発し、試作向けには十分な商品として販売を行っており、50台以上の装置群を展示します。今後は、生産機として工場で製造に使えるシステムへと開発を行って行きます。さらに元々、Society5.0の製造業版である「つながる工場」は、多品種製造をターゲットとするミニマルファブでは必然的に構築すべき仕組みです。実際、装置間を繋いだスマート化にも成功しています。今回のキャッチフレーズは「つながるミニマルファブ」。見どころは次のとおりです。

・装置間通信
・CMOS集積回路実証、各種センサー、オペアンプ実証
・一部のプロセスは先端的技術を導入(TiNゲート、FO-WLP等)
・一部のプロセスはメガを凌駕(スキャロップフリー深掘りエッチング、超高速メッキ等)

●デモンストレーション
(1) リソグラフィー&つながるデモ
ブース通路際に配置する3装置群(塗布装置→露光装置→現像装置)を使用し、1時間に1回程度の割合でものづくり(デバイス加工プロセス:「リソグラフィーデモ」)を実演します。さらに、産総研・臨海副センターと九州センターとを結び、遠隔操作のデモも行います。
(2) スタンプラリー
昨年好評だったスタンプラリーを今年も行います。コンプリートしますと、ミニマル最新情報をお届けいたします。また、抽選により当選者の方にパターン付ミニマルウェハ(オリンピック仕様)を差し上げます。運の良い方に
は、ダイヤモンド基板やプラチナコートウェハが当たるかも知れません!

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