半導体製造装置や検査装置に豊富な実績があるオイレス社のエアベアリングは、
お客様の開発目標や課題に合わせて個別の提案(カスタマイズ)が可能です。
直動ガイド、搬送ロール、スピンドル、ブッシュ、パッドなど様々な形状の
実物を稼働させて展示しますので、是非ブースにご来場ください。
オイレス社製エアベアリングは、高度な多孔質技術を元に開発された究極のベアリングです。 お客様の開発目標、課題に合わせて最適な解決提案(カスタマイズ)を致します。
■メリット 1. 高精度化 (対 ボールベアリング) 2. クリーン 3. 半永久寿命 4. 省エネ (対 他社製エアベアリング)
高精度化(高品質化)、高速化、クリーン(油飛散・発塵・摩耗粉が出ない)、そしてメンテナンスフリーに出来るため、生産ラインの稼働率向上にも寄与します。
テーブル側にオイレスエアベアリングを用いています。 相手レールとの間に空気膜を形成して非接触でガイドすることが可能です。
■メリット ・転がりタイプより、スムーズな動作が可能です。 ※レール表面の面粗さ(微細な凹凸)・うねりに起因する変位の影響が小さい。 ・スティックスリップが生じず、高い繰り返し精度(再現性)を発揮します。
エアベアリングは非接触支持で摩擦ゼロのため、生産性向上や軸受の摩擦に起因するシワやムラの品質課題を解決できます。
精密加工、精密研削用のツール、ワーク軸受として使用いただくことで加工精度を向上させることが出来ます。 また、精密測定機器のスピンドルとしてもご使用いただけます。
■半導体関係 採用装置例)ウエハグラインダー