リオン

国分寺市,  東京都 
Japan
http://www.rion.co.jp/product/particle/
  • 小間番号7224


リオンブースへようこそ!

昨今話題になっている高粘度試料を、原液のまま粒子測定をできるようにした液中パーティクルカウンタシステムを展示します。試料を希釈することなく測定ができるため、作業効率の改善、歩留まり向上に寄与します。

その他に、薬液中の30nm粒子を測定するKS-19F、フォトレジスト溶液中の0.1μm粒子を測定可能なKS-41B、超純水インライン測定用のKL-30A/30B、幅広い粒径をカバーするKSシリーズを展示し、液体中の清浄度管理をトータルサポート致します。

気中粒子については、ハンディタイプから大流量のポンプを採用した一連の製品をご紹介します。ぜひ弊社ブースにお越しいただき実機をご覧ください。


 出展製品

  • 高粘度試料用液中パーティクルカウンタシステム
    高粘度試料を原液のまま、微粒子の測定が可能。...

  • ・センサを変えることでに、0.2 ~ 20μmの粒子径が測定可能
    ・5 Pa・s(5,000cP)の高粘度試料の測定が可能
    ・高粘度KrF、厚膜レジスト、ワニス、ポリイミドの原液測定が可能
    ・耐圧0.3MPaを有し、高粘度用加圧サンプラの加圧上限である0.2MPaに対応
  • 液中パーティクルセンサ KS-19F
    薬液中の0.03μm粒子を測定 フッ化水素酸対応...

  • ・最小可測粒径 0.03 μm
    ・任意に粒径区分を設定可能
    0.03 ~ 0.13 μm の範囲で10 段階
    ・セルにサファイアを採用
    ・豊富なオプションによりバッチ測定とインライン測定の両方に対応
  • 液中パーティクルセンサ KS-41B
    フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.1 μmから測定可能...

  • ・最小可測粒径 0.1μm、定格流量 5 mL/min
    ・粒径区分  0.1 μm~0.5 μmの範囲で最大10段階
    ・多点監視システムに接続可能
  • 純水用パーティクルカウンタ KL-30B
    0.05μm、超純水の粒子汚染を監視。耐圧性に優れ、センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ...

  • ・最小可測粒径 0.05μm
    ・粒径区分 0.05~0.2μmの範囲で任意に10粒径を設定
    ・表示部 タッチパネル付きカラー液晶
    ・パージ流量 0.1~1L/minで可変式
    ・高耐圧 500kPa(標準)、700kPa(オプション)