P.R.A.

松戸市,  千葉県 
Japan
http://www.pra.jp/
  • 小間番号5456

PRAでは、COMDEL社製、RF電源に加えて、以下の自社開発品の展示を行います。
また、Digital Dynamics社のEtherCAT対応、I/Oコントローラの展示も行います。
① PHVシリーズ 
      半導体製造装置ESC用 HV電源   
② PMU2-1 
      マッチングネットワーク (13.56MHz, 5KW)
③ 位相シフター
      クローズドループ方式 13.56MHz RF位相シフター
      オープンループ方式 13.56MHz RF位相シフター
④ EtherCAT対応 I/O コントローラー (米国 Digital Dynamics, Inc)
      FUSION I/O