イーヴィグループジャパン

横浜市保土ヶ谷区,  神奈川県 
Japan
http://www.EVGroup.com
  • 小間番号7624


「To New Dimensions™」をテーマに、半導体デバイス製造の最新トレンドおよびウェーハプロセス技術を紹介

弊社EV Group(EVG)は、半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイス、およびナノテクノロジーデバイス分野向けに、幅広い製造装置ラインナップと最先端のウェーハプロセスソリューションを提供するサプライヤーです。主力製品であるウェーハ接合装置、薄型ウェーハプロセス装置、リソグラフィ/ナノインプリントリソグラフィ(NIL)装置に加え、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置/計測機器なども取り揃え、最先端テクノロジーのリーディングカンパニーとして市場を牽引しています。

SEMICON2019のEVGブースでは、「To New Dimensions™」のテーマのもと、限界と可能性を巡る様々な議論の中でまさに今「新たな次元」に臨みつつある、半導体デバイス製造の最新トレンドおよびウェーハプロセス技術をご紹介いたします。

お客様の課題解決のお手伝いをいたしますので、是非EVGブース(#7624)へお立ち寄りください。


 出展製品

  • MLE™ マスクレス露光技術
    優れた拡張性を有する業界初の量産対応マスクレスリソグラフィ技術...

  • 特徴:
    ■ 基板表面全体への高解像度(<2μm L/S)および繋ぎ目の無いパターニング
    ■ デジタルプログラム可能なレイアウトにより設計の自由度が大幅に拡張
    ■ パネルを含むあらゆるウェーハサイズに対応
    ■ 市販されているすべてのレジストに対応
    ■ フォトマスクの維持・管理等にかかる間接費を大幅に削減

  • EVG®GEMINI® FB XT
    業界標準を超える全自動量産型ハイブリッド/フュージョン接合装置...

  • 特徴:
    ■ SmartView® NT3アライナーの搭載により、サブ 50nm のフェイス to フェイスアライメ ント精度を実現
    ■ 最大 6 つまでの前処理モジュールを追加可能
    ■ 毎時 20 枚の高スループット