堀場製作所

京都市南区,  京都府 
Japan
http://www.horiba.com/jp/semiconductor/
  • 小間番号7405

Categories

203 装置、検査及び測定
  • Ｘ線：ＸＲＦ/3次元Ｘ線/レキシスシステム
  • ストレス：屈折率/反射率及び伝導率測定
  • メッキ検査装置
  • 分光計：フーリエ変換赤外分光（FTIR)/減衰全反射FTIR(ATR-FTIR)/オージェ電子(AES)/SIMS
  • 欠陥/パーテクル/バンプ/汚染検出、評価、検査
  • 熱検知/測定/分析
  • 膜厚：厚さ/均一性測定/エリプソメーター
  • 表面測定
  • 顕微鏡：原子間力顕微鏡（AFM)
    • 207 装置、プロセス
  • エッチング/ストリッッピング/アッシング-ドライ及びウェット装置
  • クリーニング/洗浄/基板乾燥装置/ファブプロセス
    • 208 装置、テスト
  • プリント基板/ワイヤボード（PCBまたはPWB)テスト、リペア
    • 307 材料、プロセス
  • CMP/グラインド/ラップ/研磨/研磨剤
    • 400 部品、パーツと付属品
  • センサ
    • 500 工場のモニタリングと制御システム(FMCS)
  • プロセス管理
  • 環境；ユーティリティモニタリングシステム
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