リンテック

新宿区,  東京都 
Japan
http://www.lintec-mfc.co.jp
  • 小間番号7702


液体気化供給システムのパイオニアとしてこれからも開発主導型企業を目指し、様々な産業の発展に寄与していきたいと考えています

マスフローコントローラ(Mass Flow Controller、MFC)は、半導体や液晶製造工程、その他電子デバイスの製造工程で使用される各種気体及び液体の質量流量を高精度で制御する機器です。気体及び液体の流量を体積ではなく質量で制御するため、温度や圧力に依存することなく、極めて高精度で流体を制御することができます。

また、近年増加傾向にある液体気化供給プロセスへ対応するべく、様々なシステム提案を行っております。


 出展製品

  • 小型加熱ヒータユニット HXシリーズ
    HXシリーズは、リンテックの持つ高効率液体気化技術を応用した小型のヒータユニットです。...

  • ・コンパクトでありながらMax300℃までの加熱が可能。
    ・圧力損失を極限まで抑えた設計技術。
    ・オールメタルのクリーン構造。
  • 液体マスフローコントローラ LCシリーズ
    液体用マスフローセンサにピエゾアクチュエータを搭載した高性能のデジタル液体マスフローコントローラです。...

  • ・流量精度は±1.0%F.S.を保証。
    ・独自の周囲温度補償方式マスフローセンサを内蔵
    ・気化器と組み合わせることで、液体気化供給器としても利用可能。
  • 高速応答サーマルマスフローコントローラ MC-7000Dシリーズ
    サーマルセンサで200msec以下の高速応答を実現したマスフローコントローラです。...

  • ・200msec応答により、捨てガスすることなく、ALDガス供給に最適。
    ・従来からのサーマルセンサを使用することで、腐食性や液化ガスにも対応可能。
    ・流量精度は±1.0%S.P.を保証。
  • 気化器 VUシリーズ
    各種プリカーサを効率良く気化供給するための気化器です。...

  • ・High-kやLow-k、各種メタル原料など、低蒸気圧・高沸点なプリカーサにも対応。
    ・豊富な経験とラインナップにより、プリカーサや流量、使用条件によって最適な方法をご提案。
    ・気化器のみならず、気化供給システムとしてトータルソリューションで提供可能。
  • 高温マスフローコントローラ MC-3000L-TCシリーズ
    幅広い流量レンジとガスに対応した高温対応のマスフローコントローラです。...

  • ・最高温度120℃に対応。
    ・流量精度は±1.0%F.S.を保証。
    ・メタルシールを採用することで、腐食性のあるガスにも対応可能。