• ウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group(本社: オーストリア ザンクト・フローリアン、以下: EVG)は、多層3D- ICの配線密度をさらに高めるための開発を加速していることを発表しました。ナノエレクトロニクスとデジタルテクノロジー分野における、世界的な研究機関およびイノベーションハブであるimecとの3D集積化プログラムを通し、弊社は既に高密度配線を有する多層3D- ICの全自動ハイブリッド/フュージョン接合において、優れたウェーハto ウェーハ(W2W)オーバーレイ精度を達成しています。今後EVGはサブミクロンのW2W配線技術におけるより厳しいオーバーレイ精度要件に対応し、次世代デバイス構造開発への道を切り拓きます。 EVGで、知的財産・技術開発本部のディレクターを務めるMarkus Wimplingerは、次のように述べています。「ウェーハ接合技術は、ロジックへのSRAMや3D NANDフラッシュメモリ積層、3D システム・オン・チップ(3D SoC)といった新たなデバイスコンセプト、次世代ロジックデバイスおよび3D-IC向け裏面電源供給ネットワークといった最新のイメージセンサーコンセプトやデバイス構造を可能にし、デバイスの継続的なスケーリングを実現します。 imecと弊社のクリーンルーム施設で並行して実施されている共同開発により、両者はお互いに設備と専門知識を共有でき、この緊密な連携は3次元積層型デバイス向けの新しいプロセスソリューションの迅速な開発を可能にします。 最先端集積化技術の研究開発におけるimecのリーダーシップが、EVGのW2W接合技術と組み合わさり、技術ブロックの最適な分割とW2W集積化によって、パフォーマンスの大幅な改善、新たなアプリケーション、および最小コストでのデバイス開発が実現します」 W2W接合は、3次元積層によりICの高密度集積化を可能にする実証済みの技術です。 これにより、メモリとロジックといった異なる機能、または異種材料基板のウェーハ/IC積層が可能となります。 接合が行われる前には、上部と下部のウェーハを高精度で位置合わせする必要があります。imecのクリーンルームに導入されたEVGのGEMINI®FB XT全自動ハイブリッド/フュージョン接合装置は、EVG独自のSmartView®アライメント技術を用いて積層ウェーハの相互接続ピッチを縮小し、将来の3D- IC設計の要求を満たす最高の歩留まりと卓越したオーバーレイ精度を実現します。 EVGは、2019年12月11日(水)から13日(金)にかけて、東京ビッグサイトで開催されるSEMICON Japanに出展し、3次元集積化向けハイブリッド/フュージョン接合ソリューションをはじめ、ウェーハ接合、リソグラフィ、レジストプロセス等の幅広い装置・技術ラインナップをご紹介いたします。是非弊社ブース(#7624)へお越しください。

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  • ゼネラル物産では、ICデバイスのマニュアルテストやチップ解析から量産試験まで幅広い用途に使用されている、ICデバイス温度コントロールシステムを展示します。 今年、従来品のMaxTCよりもお求めやすい価格帯でハイパフォーマンスな温度コントロールシステム、MaxTCエコクールlの販売を開始いたしました。 システムのラインナップは4機種となり、温度範囲は最大で(-75C~+200C)を実現しております お客様の用途により、温度範囲や機種をご提案させて頂きます。 ぜひブースにお立ち寄りください。 ブース:西1ホール #3259 ... Learn More

  • ゼネラル物産では、数GHz帯~90GHz帯域までの高周波テストを実現し、各種ICパッケージに対応したSilmat®ソケットを展示します。 このシートタイプのSilmat®ソケットは、急速な成長が見られる自動運転技術やセキュリティーなど、次世代大容量高速通信系デバイスのテストに欠かすことのできない、革新的なシートコンタクトソケットです。 ぜひブースにお立ち寄りください。 ブース:西1ホール #3259 ... Learn More

  • 高性能エレクトロニクスにこそ、高性能カップリングが必要です。 半導体製造装置のチラー配管に「漏れのない分離、高い流量特性」を実現するカップリングを各種展示します。セイン製品の特長である、高性能かつ安全性を追求したカップリング(迅速流体継手)は、装置の安全を確保し、チラーの性能を最大限に引き出します。セインは60年にわたるカップリング専門メーカーとしての経験に基づき、お客様の課題を解決するソリューションを提供致します。 ■ セインについて  セインは1955年に革新的なワンタッチ接続機能付エアカップリングの特許を取得し、スウェーデンで創業しました。社名は創始者のCarl Erik Josef Nybergの頭字よりCEJN(セイン)と名づけられました。 以来60年にわたり、空圧、油圧、液体アプリケーション向けに、安全で高品質なカップリングを製造・販売しております。 ヨーロッパ市場では業界のリーディングカンパニー、定番メーカーとしての地位を確立しており、現在では世界17拠点で製品及びソリューションを提供しています。 ■ お問い合わせ セインジャパン株式会社  302-0106 茨城県守谷市緑1-2-1 TEL:0297-21-1971 / FAX:0297-48-9937 E-mail: sales@cejn.co.jp   URL:    https://www.cejn.com/ja-jp/ ... Learn More

  • LSI積層技術で用いるTSV貫通電極を接続する微細バンプの3次元形状を高速に測定する事が出来ます。 バンプサイズが30μm以下になると従来のバンプ測定装置での形状測定が困難になります。本装置では 10μm程度までの微細バンプに対応し、円錐角錐などの尖端形状及び円柱やピラー形状も測定可能です。 新しい測定方法を採用して高分解能で有りながら高速検査が可能となりました。シャドープロファイル法に よってバンプの立体的投影像から3次元形状の測定を行います。 ... Learn More

  • 本装置は、超高速(1視野1秒程度)で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。 ワイヤー高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。 ... Learn More

  • 「Partner@your Fab」を合言葉に、SCREENグループの一員として培った技術力とノウハウ、さまざまなソリューションのご提案を通じて常にお客さまに寄り添い、生産ラインの性能アップ・安定稼働に貢献します。... Learn More

  •  三菱重工工作機械(株)は、以下の2製品を出展して皆様に微細加工のソリューションを提供します。 (1)微細レーザ加工機ABLASER 短パルスレーザによるアブレーション加工で、熱影響の少ない極めて高品質な穴加工や溝加工を実現します。本展示会ではシリコンとLtの複合材ウエハやアルミナ、石英の穴明けサンプを展示しております。 (2)常温ウェーハ接合装置  室温で、シリコン系材料、化合物半導体、光学材料、金属など多岐にわたる材料を強固に接合します。MEMSの真空封止、エンジニアリング基板、3D積層などに活用できます。各種材料の接合サンプルを展示しますが、特に3D積層用に15μmまで薄化した300㎜ウェーハの接合サンプルが見ものです。 ... Learn More

  • アスザック㈱はファインセラミックスメーカーです。 素材の成形・焼成から最終加工まで一貫して生産を行っております。 複雑な小物製品から4mを超える大型製品まで、幅広く製作いたします。 アルミナ(Al2O3)や炭化ケイ素(SiC)、ポーラスセラミックスなど、各種セラミックス素材を取り扱っております。 コンタミフリー製品や耐プラズマ素材、接合製品といった、ユニーク且つ実用的な技術開発にも力を注いでおり、お客様と共同での素材開発も致します。 国内工場だけでなく海外にも生産拠点をおいており、グローバルに展開しております。 今回は、ハンドを中心に展示いたします。様々な価値をハンドという形で提案いたします。 是非、ブースにお立ち寄り下さい。 ... Learn More

  • 弾性表面波素子を用いた超音波リニアモータに関する研究を通して,弾性表面波素子が効率的に大電力を電気機械変換し,高周波機械振動を発生することを見いだしてきた。そして,高周波機械振動と摩擦力による弾性表面波モータは,高いパワー密度を駆動源とすることで高推力な特性を実現した。また,弾性表面波素子表面に置いた液体は高周波振動により一瞬で駆動,霧化の現象も示してきた。2018年,弾性表面波モータ用に作製した素子を水中に沈めたところ,デバイス表面を伝搬するレーリー波から水中へ音波(縦波)が放射されると共に,弾性表面波素子に強力な推進力が生じていることを見いだした。水中に放射された強力な音波が,非線形現象により直流的な流れになることはよく知られているが,放射源である基板表面に,放射圧による大きな推進力が生ずることは新たな発見であった。2019年,超音波による血管内ロボット推進システムのため,高周波数(95.5MHz)の弾性表面波素子で小型化かつ低電圧の液中スイマーを実現した。  先進的な医療技術に向け,液中を自由に動き回ることのできるスイマーアクチュエータの開発が活発化している。血液中の医療ロボットのため,ロボットの新たな推進力の開発は世界的な問題となっている。液中での自走型推進システムは種々考案されているが,単純な構造,高パワー密度,小型化と低コストの利点を持ち,超音波推進システムは他の方式に比較して優れた性能と機能を有する。 ... Learn More

  • IDE’s ATAN active vibration isolation modules considered the ideal solution for high-throughput semiconductor manufacturing and metrology equipment. Continuing a decades-long tradition of developing innovative active vibration isolation solutions for the global semiconductor and metrology industries, Integrated Dynamics Engineering (IDE) is now highlighting its state-of-the-art series, ATAN - a hybrid suite of... Learn More