東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

仙台市青葉区,  宮城県 
Japan
  • 小間番号3870

東北大学で行っている試作コインランドリや、産学官連携組織であるMEMSパークコンソーシアムをぜひご利用ください!

東北大学マイクロシステム融合研究開発センターでは、MEMSをはじめとする微小デバイスの開発を支援しています。共同研究開発のほか、加工装置を時間単位でご利用いただける「試作コインランドリ」を運営しています。2010年の開始以来、200社以上の企業にご利用いただいております。場所は東北大学西澤潤一記念研究センターです。1800平方メートルのクリーンルームを中心にして、4インチ、6インチのファブラインがご利用いただけます。技術スタッフ9名が支援しておりまして、東北大学がこれまでに蓄積してきた多くのノウハウにもアクセスしていただけます。これまでに、圧力センサなどいくつかのデバイスが企業により製品化されています。デバイスの設計から試作、評価に至る一連の工程のほか、成膜やエッチングなどの単工程でのご利用も大歓迎です。皆様のご利用をお待ちしております。

MEMSパークコンソーシアムは、MEMSに必要な材料、デバイス作製、システム構築、評価等に関する情報、経験を共有し、付加価値の高いものづくりをサポートする産学官連携組織です。現在、約70社が会員として参加されています。東北経済産業局、宮城県、仙台市、東北大学が事務局を運営しています。セミナーを中心とする情報発信のほか、毎年夏季の3日間に行っているMEMS集中講義、ご要望(持ち込みの課題)のデバイスについて試作をしながら教育を行う人材育成、技術相談等の事業を行っております。