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半導体・液晶の次世代装置へ向けたレーザスケールの提案
超高精度と高分解能を達成した豊富なレーザスケールラインナップと2次元レーザスケールを展示いたします。
また、全周で±0.1秒以内の高精度で角度を検出する非接触自己校正型ロータリエンコーダは、装置校正用の基準器としても最適です。
独自のVEDAメソッドを使用した自己校正で一周±0.1角度秒の高精度を実現しています。ロータリテーブルなどの誤差をレーザ干渉計並みの分解能で360°連続して測定可能です。角度の挙動計測や校正作業に最適です。
高い分解能と応答速度を両立させたレーザスケールBL50Hをはじめ、真空対応、ゼロ膨張ガラススケールなど次世代のナノテクノロジーをリードする超高精度・超高分解能レーザスケールラインナップです。