① 高輝度9.25 keV励起による圧倒的な検出深さ:
数十から百nmに及ぶ深い検出深さの最大の利点は、スパッタ等の前処理なく、埋もれた界面の化学状態が観測可能であることです。例えば最表面に電極を載せた試料の場合、電圧を印加しながら“Operando”測定で動的な化学状態変化をとらえる事が可能となります。
② 試料の角度を変えることなく深さ分解測定が可能:
+/-30度広立体角角度分解アナライザーは試料の角度を変えることなく(深さ*エネルギー)2次元イメージとして化学状態分布を観測する事が出来ます。例えばエネルギーを固定してスナップショット測定を行えば、深さ方向の化学状態変化を経時でとらえる事が可能です。
③ ビームタイムの制約が無い:
24時間365日、お客様のご都合に合わせた測定をタイムリーに実施する事が出来ます。
④ 高い拡張性:
他の分析器との接続や連動も可能です。