確かな技術力とサポートにより、半導体の進化と豊かな情報化社会の発展を支えます。
荏原の精密・電子事業カンパニーは業界最先端の技術製造現場を支える、真空技術と平坦化技術のリーディングカンパニーです。 半導体製造に欠かせないCMP装置を始め、ドライ真空ポンプ、排ガス処理装置、オゾン水製造装置など様々な製品を世界中に供給しています。高性能、高信頼性、安心のサポート体制により、多様な分野で採用が進んでいます。半導体分野のみならず、化学、医薬、その他の製造業や研究開発用途で荏原製作所の製品が活躍しています。
本展では、新製品4点を含む半導体製造装置及びコンポーネント機器の展示を行います。
【新製品】 ・半導体製造装置 新製品1点 ・幅広いプロセスカバレッジ 中負荷プロセス向けドライ真空ポンプ EV-X型 ・水溶性ガスの高コスト効率処理 湿式排ガス処理装置 G-WS型 ・小型精密チラー RJ-SA型
【その他出展製品】 ・ドライ真空ポンプ｜省エネ・小型ドライ真空ポンプ。 空冷・小型ドライ真空ポンプから高プロセス耐性・大流量まで、幅広いラインナップをご紹介します。 ・排ガス処理装置｜可燃性ガスの高効率処処理可能な燃焼式排ガス処理装置 ・オゾン水製造装置｜高濃度かつ高い濃度・流量安定性 ・半導体製造装置｜ベベル研磨装置及びめっき装置 ・小型液送ポンプSSPD型｜装置組込みに最適な小型ポンプ ・水封型真空ポンプNVD型 など
新製品1点を含む、荏原の小型・省エネドライ真空ポンプを展示します。 手運び可能で一般家庭用電源で使用可能な空冷ポンプ、水素等軽ガス排気に最適なスクリュー型ドライ真空ポンプ、高プロセス耐性・大排気速度で高負荷プロセスにも対応可能なモデルなど、幅広いラインナップからお客様に最適な一台をご提案します。
新製品1点を含む、荏原の半導体製造装置です。高スループット・高信頼性が市場で高い評価を得ている荏原のCMP装置F-REX型、歩留まり改善に貢献するベベル研磨装置EAC型、高速かつ高柔軟性が特長のめっき装置UFP型を展示します。
新製品1点を含む、排ガス処理装置を展示します。 荏原独自の副生成物対策により高信頼性かつTCoO削減可能な排ガス処理装置です。複数の可燃性ガスを一括処理可能な燃焼型排ガス処理装置、水溶性ガスの低コスト処理が可能な湿式排ガス処理装置、燃料・水処理不要な乾式排ガス処理装置など、豊富なラインナップをご紹介します。