半導体製造装置用に設計・製造されたSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーをご紹介いたします。 このチラーは、高性能なペルチェデバイスと熱交換効率に優れたプレートヒートエクチェンジャーを搭載したコンパクトで省エネ効果が極めて高い製品です。
また、このチラーは以下の特長を持っております。 ✔冷却水の消費量が1/3 ✔雰囲気中への発熱量（エアコンへの負荷）が1/8 ✔シールレスポンプなので水漏れトラブルの心配がない 他にもSolid State Cooling Systems社のペルチェチラーを使う事によるメリットについて以下のような評価を受け、〝カイゼンチラー″として推奨されております。
✔小ボリューム密閉式タンクなのでフッ素系溶媒（ガルデン・フロリナート）のコストが大幅に削減 ✔駆動部品がポンプだけなので突発故障が大幅に低減 ✔モジュールパーツの採用により修理が容易でダウンタイムも大幅短縮 ✔温度安定性が改善されたのでウエハーの品質が安定して歩留まりも向上 ✔軽くてコンパクトで設置も楽々
是非、この機会にチラーのノンフロン化をお考え下さい。
冷却能力200W、300W、400W、500Wの空冷式ThermoCubeは、ささやきのような静粛性・低振動で、室温付近でも±0.05℃の温度精度を維持します。コアとなる電子温調モジュールは200,000時間を越える寿命をもち、豊富なオプションにより様々なアプリケーションに対応します。
NIKOLA 3K/5Kは最大5500 Wの冷却能力で±0.05℃の温度安定性を提供します。
従来のチラーに比べて消費電力を～80 %も削減できます。駆動部は循環ポンプと冷却ファンの２つだけで、フロン類を使用しない環境に優しいチラーです。
ThermoRack1201はプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。ペルチェモジュールによる温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。
省スペースニーズに対応した19インチラックマウントタイプのコンパクトなデザインです。