ようこそOEMグループへ
米国シェルバック傘下にて、各種洗浄装置と精密カセット検査機、バリアン装置を取り扱っております。
半導体製造においてプロセス改善、スループット改善、コスト低減をご提案致します。
ウェット製品ご紹介
(1)自動有機溶剤剥離装置(SST) (2) オゾン剥離装置(SOT ) (3)酸処理洗浄装置 (4) スピンドライヤー (5)ストームカセットBox洗浄装置 (6)アップグレード
精密カセット検査装置のご紹介
Eagle-i 200mm 及び Eagle-i 300mm
Varian 製品群ご紹介
(1)EHP220/500 Mid -current (2)VIISion 80/200 High current + IHC (3)Kestrel 750 High energy (4)アップグレード
CVD,Etch製品ご紹介
(1) P5000CS CVD & Etch ＋RPS (2)アップグレード
ご来場お待ちしております。