当展示会では、半導体製造工程（成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等）に不可欠とされるターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。その中でも当社主力製品である反応生成物対策型磁気軸受型ターボ分子ポンプ：TGkine4200MI-B、極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ：TG420MLとドライ真空ポンプDSP50など、真空環境作りに役立つ豊富なラインアップを紹介いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。