THEIAは、商用モデルのAPOLLOで実証された設計と装置の構成要素を組み合わせ、比類のない性能、柔軟性、信頼性、安全性を実現した研究開発用パッケージです。THEIAは、常に変化する科学者やエンジニアのニーズに対応するため、現場でのアップグレードが可能です。THEIAは、研究開発から生産へのシームレスな移行を可能にします。THEIAで作成したレシピをAPOLLOに送ることで、シンプルかつストレートに商業規模の生産に移行することができます。
主な特長
- 現場アップグレードと拡張が可能
- 超高速蒸着 120～300Å/分
- 50μm間隔でのメンテナンス
- 1ミリ秒以下の速度と1億サイクルの寿命を持つ独自のバルブ
- 約1%のウエハー上およびバッチ間での均一性を実現
用途
- ALDプリカーサーの開発
- 環境配慮型コーティング
- 界面・接着層
- 腐食防止
- 耐摩耗性コーティング
- 領域選択的化学物質の開発